[Info]
Number of Regions=0001
Version=1.2.5

[Region 1]
Region Name=O1s
Dimension 1 name=Kinetic Energy [eV]
Dimension 1 size=401
Dimension 1 scale=5408.00000 5408.05000 5408.10000 5408.15000 5408.20000 5408.25000 5408.30000 5408.35000 5408.40000 5408.45000 5408.50000 5408.55000 5408.60000 5408.65000 5408.70000 5408.75000 5408.80000 5408.85000 5408.90000 5408.95000 5409.00000 5409.05000 5409.10000 5409.15000 5409.20000 5409.25000 5409.30000 5409.35000 5409.40000 5409.45000 5409.50000 5409.55000 5409.60000 5409.65000 5409.70000 5409.75000 5409.80000 5409.85000 5409.90000 5409.95000 5410.00000 5410.05000 5410.10000 5410.15000 5410.20000 5410.25000 5410.30000 5410.35000 5410.40000 5410.45000 5410.50000 5410.55000 5410.60000 5410.65000 5410.70000 5410.75000 5410.80000 5410.85000 5410.90000 5410.95000 5411.00000 5411.05000 5411.10000 5411.15000 5411.20000 5411.25000 5411.30000 5411.35000 5411.40000 5411.45000 5411.50000 5411.55000 5411.60000 5411.65000 5411.70000 5411.75000 5411.80000 5411.85000 5411.90000 5411.95000 5412.00000 5412.05000 5412.10000 5412.15000 5412.20000 5412.25000 5412.30000 5412.35000 5412.40000 5412.45000 5412.50000 5412.55000 5412.60000 5412.65000 5412.70000 5412.75000 5412.80000 5412.85000 5412.90000 5412.95000 5413.00000 5413.05000 5413.10000 5413.15000 5413.20000 5413.25000 5413.30000 5413.35000 5413.40000 5413.45000 5413.50000 5413.55000 5413.60000 5413.65000 5413.70000 5413.75000 5413.80000 5413.85000 5413.90000 5413.95000 5414.00000 5414.05000 5414.10000 5414.15000 5414.20000 5414.25000 5414.30000 5414.35000 5414.40000 5414.45000 5414.50000 5414.55000 5414.60000 5414.65000 5414.70000 5414.75000 5414.80000 5414.85000 5414.90000 5414.95000 5415.00000 5415.05000 5415.10000 5415.15000 5415.20000 5415.25000 5415.30000 5415.35000 5415.40000 5415.45000 5415.50000 5415.55000 5415.60000 5415.65000 5415.70000 5415.75000 5415.80000 5415.85000 5415.90000 5415.95000 5416.00000 5416.05000 5416.10000 5416.15000 5416.20000 5416.25000 5416.30000 5416.35000 5416.40000 5416.45000 5416.50000 5416.55000 5416.60000 5416.65000 5416.70000 5416.75000 5416.80000 5416.85000 5416.90000 5416.95000 5417.00000 5417.05000 5417.10000 5417.15000 5417.20000 5417.25000 5417.30000 5417.35000 5417.40000 5417.45000 5417.50000 5417.55000 5417.60000 5417.65000 5417.70000 5417.75000 5417.80000 5417.85000 5417.90000 5417.95000 5418.00000 5418.05000 5418.10000 5418.15000 5418.20000 5418.25000 5418.30000 5418.35000 5418.40000 5418.45000 5418.50000 5418.55000 5418.60000 5418.65000 5418.70000 5418.75000 5418.80000 5418.85000 5418.90000 5418.95000 5419.00000 5419.05000 5419.10000 5419.15000 5419.20000 5419.25000 5419.30000 5419.35000 5419.40000 5419.45000 5419.50000 5419.55000 5419.60000 5419.65000 5419.70000 5419.75000 5419.80000 5419.85000 5419.90000 5419.95000 5420.00000 5420.05000 5420.10000 5420.15000 5420.20000 5420.25000 5420.30000 5420.35000 5420.40000 5420.45000 5420.50000 5420.55000 5420.60000 5420.65000 5420.70000 5420.75000 5420.80000 5420.85000 5420.90000 5420.95000 5421.00000 5421.05000 5421.10000 5421.15000 5421.20000 5421.25000 5421.30000 5421.35000 5421.40000 5421.45000 5421.50000 5421.55000 5421.60000 5421.65000 5421.70000 5421.75000 5421.80000 5421.85000 5421.90000 5421.95000 5422.00000 5422.05000 5422.10000 5422.15000 5422.20000 5422.25000 5422.30000 5422.35000 5422.40000 5422.45000 5422.50000 5422.55000 5422.60000 5422.65000 5422.70000 5422.75000 5422.80000 5422.85000 5422.90000 5422.95000 5423.00000 5423.05000 5423.10000 5423.15000 5423.20000 5423.25000 5423.30000 5423.35000 5423.40000 5423.45000 5423.50000 5423.55000 5423.60000 5423.65000 5423.70000 5423.75000 5423.80000 5423.85000 5423.90000 5423.95000 5424.00000 5424.05000 5424.10000 5424.15000 5424.20000 5424.25000 5424.30000 5424.35000 5424.40000 5424.45000 5424.50000 5424.55000 5424.60000 5424.65000 5424.70000 5424.75000 5424.80000 5424.85000 5424.90000 5424.95000 5425.00000 5425.05000 5425.10000 5425.15000 5425.20000 5425.25000 5425.30000 5425.35000 5425.40000 5425.45000 5425.50000 5425.55000 5425.60000 5425.65000 5425.70000 5425.75000 5425.80000 5425.85000 5425.90000 5425.95000 5426.00000 5426.05000 5426.10000 5426.15000 5426.20000 5426.25000 5426.30000 5426.35000 5426.40000 5426.45000 5426.50000 5426.55000 5426.60000 5426.65000 5426.70000 5426.75000 5426.80000 5426.85000 5426.90000 5426.95000 5427.00000 5427.05000 5427.10000 5427.15000 5427.20000 5427.25000 5427.30000 5427.35000 5427.40000 5427.45000 5427.50000 5427.55000 5427.60000 5427.65000 5427.70000 5427.75000 5427.80000 5427.85000 5427.90000 5427.95000 5428.00000

[Info 1]
Region Name=O1s
Excitation Energy=0
Energy Scale=Kinetic
Acquisition Mode=Swept
Center Energy=5418
Low Energy=5408
High Energy=5428
Energy Step=0.05
Step Time=200
Detector First X-Channel=1
Detector Last X-Channel=1064
Detector First Y-Channel=1
Detector Last Y-Channel=1000
Number of Slices=1
Lens Mode=Transmission
Pass Energy=200
Number of Sweeps=2
Spectrum Name=O1s
Instrument=HEA-4MS249
Location=SPring-8
User=BL15XU
Sample=p_Si0003
Comments=2009A,;PE=200eV, TOA=88deg;RT, c0.5mm;ID24.4;;
Date=1/30/2010
Time=1:03:25 PM
Time per Spectrum Channel=209.4

[Run Mode Information 1]


[Data 1]
  5408.00000  11200.00000
  5408.05000  10937.00000
  5408.10000  10854.00000
  5408.15000  10830.00000
  5408.20000  10871.00000
  5408.25000  10636.00000
  5408.30000  11127.00000
  5408.35000  11031.00000
  5408.40000  11079.00000
  5408.45000  10535.00000
  5408.50000  10910.00000
  5408.55000  10782.00000
  5408.60000  10872.00000
  5408.65000  10693.00000
  5408.70000  10819.00000
  5408.75000  10768.00000
  5408.80000  10704.00000
  5408.85000  10951.00000
  5408.90000  11121.00000
  5408.95000  10673.00000
  5409.00000  10101.00000
  5409.05000  11033.00000
  5409.10000  11160.00000
  5409.15000  10930.00000
  5409.20000  10939.00000
  5409.25000  10743.00000
  5409.30000  10822.00000
  5409.35000  10816.00000
  5409.40000  11184.00000
  5409.45000  10624.00000
  5409.50000  10630.00000
  5409.55000  10919.00000
  5409.60000  10785.00000
  5409.65000  10961.00000
  5409.70000  10527.00000
  5409.75000  10820.00000
  5409.80000  11017.00000
  5409.85000  10989.00000
  5409.90000  11126.00000
  5409.95000  11165.00000
  5410.00000  10938.00000
  5410.05000  10832.00000
  5410.10000  10658.00000
  5410.15000  10878.00000
  5410.20000  10764.00000
  5410.25000  10866.00000
  5410.30000  10700.00000
  5410.35000  10857.00000
  5410.40000  11162.00000
  5410.45000  10590.00000
  5410.50000  11155.00000
  5410.55000  10704.00000
  5410.60000  10846.00000
  5410.65000  10936.00000
  5410.70000  10799.00000
  5410.75000  10819.00000
  5410.80000  11069.00000
  5410.85000  10918.00000
  5410.90000  10484.00000
  5410.95000  11049.00000
  5411.00000  10414.00000
  5411.05000  10789.00000
  5411.10000  10883.00000
  5411.15000  10820.00000
  5411.20000  10693.00000
  5411.25000  10785.00000
  5411.30000  10634.00000
  5411.35000  10794.00000
  5411.40000  11046.00000
  5411.45000  11021.00000
  5411.50000  10665.00000
  5411.55000  11112.00000
  5411.60000  11069.00000
  5411.65000  11013.00000
  5411.70000  10785.00000
  5411.75000  10412.00000
  5411.80000  11224.00000
  5411.85000  11109.00000
  5411.90000  11092.00000
  5411.95000  11030.00000
  5412.00000  11117.00000
  5412.05000  11103.00000
  5412.10000  10779.00000
  5412.15000  10966.00000
  5412.20000  10394.00000
  5412.25000  11035.00000
  5412.30000  10942.00000
  5412.35000  10932.00000
  5412.40000  10471.00000
  5412.45000  10577.00000
  5412.50000  10696.00000
  5412.55000  10800.00000
  5412.60000  10640.00000
  5412.65000  10922.00000
  5412.70000  10557.00000
  5412.75000  11021.00000
  5412.80000  11004.00000
  5412.85000  11065.00000
  5412.90000  10780.00000
  5412.95000  10599.00000
  5413.00000  10978.00000
  5413.05000  10806.00000
  5413.10000  10768.00000
  5413.15000  10888.00000
  5413.20000  11152.00000
  5413.25000  10514.00000
  5413.30000  11134.00000
  5413.35000  10817.00000
  5413.40000  11266.00000
  5413.45000  10931.00000
  5413.50000  10626.00000
  5413.55000  10804.00000
  5413.60000  10817.00000
  5413.65000  11063.00000
  5413.70000  11063.00000
  5413.75000  11074.00000
  5413.80000  10701.00000
  5413.85000  11169.00000
  5413.90000  11305.00000
  5413.95000  10313.00000
  5414.00000  10876.00000
  5414.05000  10933.00000
  5414.10000  10740.00000
  5414.15000  10629.00000
  5414.20000  10844.00000
  5414.25000  10905.00000
  5414.30000  10616.00000
  5414.35000  11097.00000
  5414.40000  10975.00000
  5414.45000  10834.00000
  5414.50000  10449.00000
  5414.55000  10449.00000
  5414.60000  11008.00000
  5414.65000  11013.00000
  5414.70000  10716.00000
  5414.75000  11170.00000
  5414.80000  11252.00000
  5414.85000  10805.00000
  5414.90000  10810.00000
  5414.95000  10954.00000
  5415.00000  11151.00000
  5415.05000  11031.00000
  5415.10000  10993.00000
  5415.15000  11049.00000
  5415.20000  11010.00000
  5415.25000  11179.00000
  5415.30000  11189.00000
  5415.35000  11441.00000
  5415.40000  10750.00000
  5415.45000  10699.00000
  5415.50000  11540.00000
  5415.55000  10777.00000
  5415.60000  11091.00000
  5415.65000  11402.00000
  5415.70000  11772.00000
  5415.75000  11270.00000
  5415.80000  11664.00000
  5415.85000  11673.00000
  5415.90000  11273.00000
  5415.95000  11652.00000
  5416.00000  11500.00000
  5416.05000  11812.00000
  5416.10000  11722.00000
  5416.15000  12072.00000
  5416.20000  12242.00000
  5416.25000  12335.00000
  5416.30000  13035.00000
  5416.35000  12841.00000
  5416.40000  12713.00000
  5416.45000  13029.00000
  5416.50000  13202.00000
  5416.55000  13150.00000
  5416.60000  13643.00000
  5416.65000  14598.00000
  5416.70000  14714.00000
  5416.75000  14717.00000
  5416.80000  15004.00000
  5416.85000  15554.00000
  5416.90000  15842.00000
  5416.95000  16170.00000
  5417.00000  16482.00000
  5417.05000  17411.00000
  5417.10000  17898.00000
  5417.15000  17481.00000
  5417.20000  18039.00000
  5417.25000  18701.00000
  5417.30000  19259.00000
  5417.35000  19647.00000
  5417.40000  18921.00000
  5417.45000  19750.00000
  5417.50000  19878.00000
  5417.55000  19704.00000
  5417.60000  20826.00000
  5417.65000  20214.00000
  5417.70000  20770.00000
  5417.75000  20816.00000
  5417.80000  20683.00000
  5417.85000  21185.00000
  5417.90000  21422.00000
  5417.95000  20804.00000
  5418.00000  20675.00000
  5418.05000  20738.00000
  5418.10000  20647.00000
  5418.15000  19934.00000
  5418.20000  20184.00000
  5418.25000  19878.00000
  5418.30000  18561.00000
  5418.35000  18987.00000
  5418.40000  18709.00000
  5418.45000  18519.00000
  5418.50000  17769.00000
  5418.55000  17091.00000
  5418.60000  16646.00000
  5418.65000  15769.00000
  5418.70000  15570.00000
  5418.75000  14483.00000
  5418.80000  14520.00000
  5418.85000  14266.00000
  5418.90000  13738.00000
  5418.95000  13271.00000
  5419.00000  13266.00000
  5419.05000  12656.00000
  5419.10000  12175.00000
  5419.15000  12277.00000
  5419.20000  11975.00000
  5419.25000  11605.00000
  5419.30000  11391.00000
  5419.35000  11593.00000
  5419.40000  11299.00000
  5419.45000  10923.00000
  5419.50000  11115.00000
  5419.55000  10641.00000
  5419.60000  11341.00000
  5419.65000  11100.00000
  5419.70000  11412.00000
  5419.75000  11155.00000
  5419.80000  10959.00000
  5419.85000  10730.00000
  5419.90000  10798.00000
  5419.95000  11178.00000
  5420.00000  11172.00000
  5420.05000  10826.00000
  5420.10000  10664.00000
  5420.15000  10886.00000
  5420.20000  10893.00000
  5420.25000  10809.00000
  5420.30000  10283.00000
  5420.35000  10891.00000
  5420.40000  11120.00000
  5420.45000  11033.00000
  5420.50000  10538.00000
  5420.55000  10855.00000
  5420.60000  10675.00000
  5420.65000  10715.00000
  5420.70000  10790.00000
  5420.75000  11216.00000
  5420.80000  11308.00000
  5420.85000  11066.00000
  5420.90000  10595.00000
  5420.95000  10894.00000
  5421.00000  10455.00000
  5421.05000  10930.00000
  5421.10000  11190.00000
  5421.15000  10809.00000
  5421.20000  10508.00000
  5421.25000  11069.00000
  5421.30000  10767.00000
  5421.35000  10880.00000
  5421.40000  10960.00000
  5421.45000  11057.00000
  5421.50000  11213.00000
  5421.55000  10769.00000
  5421.60000  10566.00000
  5421.65000  10589.00000
  5421.70000  10657.00000
  5421.75000  11095.00000
  5421.80000  11142.00000
  5421.85000  10995.00000
  5421.90000  10676.00000
  5421.95000  11094.00000
  5422.00000  10755.00000
  5422.05000  10810.00000
  5422.10000  10774.00000
  5422.15000  11035.00000
  5422.20000  10850.00000
  5422.25000  10846.00000
  5422.30000  10482.00000
  5422.35000  10621.00000
  5422.40000  10852.00000
  5422.45000  10813.00000
  5422.50000  10895.00000
  5422.55000  10827.00000
  5422.60000  10434.00000
  5422.65000  10889.00000
  5422.70000  10725.00000
  5422.75000  10757.00000
  5422.80000  10974.00000
  5422.85000  10880.00000
  5422.90000  10850.00000
  5422.95000  10626.00000
  5423.00000  10844.00000
  5423.05000  11087.00000
  5423.10000  10924.00000
  5423.15000  11052.00000
  5423.20000  10638.00000
  5423.25000  10757.00000
  5423.30000  10934.00000
  5423.35000  10864.00000
  5423.40000  10827.00000
  5423.45000  10554.00000
  5423.50000  10806.00000
  5423.55000  10786.00000
  5423.60000  10783.00000
  5423.65000  10843.00000
  5423.70000  10715.00000
  5423.75000  10682.00000
  5423.80000  10739.00000
  5423.85000  10823.00000
  5423.90000  10609.00000
  5423.95000  10785.00000
  5424.00000  10884.00000
  5424.05000  10842.00000
  5424.10000  10466.00000
  5424.15000  11143.00000
  5424.20000  10800.00000
  5424.25000  11300.00000
  5424.30000  10643.00000
  5424.35000  10756.00000
  5424.40000  10904.00000
  5424.45000  10899.00000
  5424.50000  10631.00000
  5424.55000  11037.00000
  5424.60000  11020.00000
  5424.65000  10901.00000
  5424.70000  10477.00000
  5424.75000  10811.00000
  5424.80000  10865.00000
  5424.85000  11144.00000
  5424.90000  10830.00000
  5424.95000  10901.00000
  5425.00000  10773.00000
  5425.05000  10898.00000
  5425.10000  10852.00000
  5425.15000  11217.00000
  5425.20000  10395.00000
  5425.25000  11017.00000
  5425.30000  11249.00000
  5425.35000  11017.00000
  5425.40000  10677.00000
  5425.45000  10974.00000
  5425.50000  10671.00000
  5425.55000  10607.00000
  5425.60000  10361.00000
  5425.65000  10928.00000
  5425.70000  10968.00000
  5425.75000  10991.00000
  5425.80000  10794.00000
  5425.85000  10830.00000
  5425.90000  11009.00000
  5425.95000  10880.00000
  5426.00000  11040.00000
  5426.05000  10706.00000
  5426.10000  10903.00000
  5426.15000  10735.00000
  5426.20000  10541.00000
  5426.25000  11000.00000
  5426.30000  11158.00000
  5426.35000  10910.00000
  5426.40000  10882.00000
  5426.45000  10981.00000
  5426.50000  10716.00000
  5426.55000  10753.00000
  5426.60000  10431.00000
  5426.65000  10504.00000
  5426.70000  11243.00000
  5426.75000  10830.00000
  5426.80000  10586.00000
  5426.85000  10386.00000
  5426.90000  10844.00000
  5426.95000  11025.00000
  5427.00000  10981.00000
  5427.05000  10813.00000
  5427.10000  10977.00000
  5427.15000  10735.00000
  5427.20000  11165.00000
  5427.25000  11015.00000
  5427.30000  11277.00000
  5427.35000  11242.00000
  5427.40000  11247.00000
  5427.45000  10530.00000
  5427.50000  10754.00000
  5427.55000  10518.00000
  5427.60000  10780.00000
  5427.65000  11444.00000
  5427.70000  10777.00000
  5427.75000  11261.00000
  5427.80000  10865.00000
  5427.85000  10763.00000
  5427.90000  10567.00000
  5427.95000  10543.00000
  5428.00000  10824.00000

