[Info]
Number of Regions=0001
Version=1.2.5

[Region 1]
Region Name=O1s
Dimension 1 name=Kinetic Energy [eV]
Dimension 1 size=401
Dimension 1 scale=5408.00000 5408.05000 5408.10000 5408.15000 5408.20000 5408.25000 5408.30000 5408.35000 5408.40000 5408.45000 5408.50000 5408.55000 5408.60000 5408.65000 5408.70000 5408.75000 5408.80000 5408.85000 5408.90000 5408.95000 5409.00000 5409.05000 5409.10000 5409.15000 5409.20000 5409.25000 5409.30000 5409.35000 5409.40000 5409.45000 5409.50000 5409.55000 5409.60000 5409.65000 5409.70000 5409.75000 5409.80000 5409.85000 5409.90000 5409.95000 5410.00000 5410.05000 5410.10000 5410.15000 5410.20000 5410.25000 5410.30000 5410.35000 5410.40000 5410.45000 5410.50000 5410.55000 5410.60000 5410.65000 5410.70000 5410.75000 5410.80000 5410.85000 5410.90000 5410.95000 5411.00000 5411.05000 5411.10000 5411.15000 5411.20000 5411.25000 5411.30000 5411.35000 5411.40000 5411.45000 5411.50000 5411.55000 5411.60000 5411.65000 5411.70000 5411.75000 5411.80000 5411.85000 5411.90000 5411.95000 5412.00000 5412.05000 5412.10000 5412.15000 5412.20000 5412.25000 5412.30000 5412.35000 5412.40000 5412.45000 5412.50000 5412.55000 5412.60000 5412.65000 5412.70000 5412.75000 5412.80000 5412.85000 5412.90000 5412.95000 5413.00000 5413.05000 5413.10000 5413.15000 5413.20000 5413.25000 5413.30000 5413.35000 5413.40000 5413.45000 5413.50000 5413.55000 5413.60000 5413.65000 5413.70000 5413.75000 5413.80000 5413.85000 5413.90000 5413.95000 5414.00000 5414.05000 5414.10000 5414.15000 5414.20000 5414.25000 5414.30000 5414.35000 5414.40000 5414.45000 5414.50000 5414.55000 5414.60000 5414.65000 5414.70000 5414.75000 5414.80000 5414.85000 5414.90000 5414.95000 5415.00000 5415.05000 5415.10000 5415.15000 5415.20000 5415.25000 5415.30000 5415.35000 5415.40000 5415.45000 5415.50000 5415.55000 5415.60000 5415.65000 5415.70000 5415.75000 5415.80000 5415.85000 5415.90000 5415.95000 5416.00000 5416.05000 5416.10000 5416.15000 5416.20000 5416.25000 5416.30000 5416.35000 5416.40000 5416.45000 5416.50000 5416.55000 5416.60000 5416.65000 5416.70000 5416.75000 5416.80000 5416.85000 5416.90000 5416.95000 5417.00000 5417.05000 5417.10000 5417.15000 5417.20000 5417.25000 5417.30000 5417.35000 5417.40000 5417.45000 5417.50000 5417.55000 5417.60000 5417.65000 5417.70000 5417.75000 5417.80000 5417.85000 5417.90000 5417.95000 5418.00000 5418.05000 5418.10000 5418.15000 5418.20000 5418.25000 5418.30000 5418.35000 5418.40000 5418.45000 5418.50000 5418.55000 5418.60000 5418.65000 5418.70000 5418.75000 5418.80000 5418.85000 5418.90000 5418.95000 5419.00000 5419.05000 5419.10000 5419.15000 5419.20000 5419.25000 5419.30000 5419.35000 5419.40000 5419.45000 5419.50000 5419.55000 5419.60000 5419.65000 5419.70000 5419.75000 5419.80000 5419.85000 5419.90000 5419.95000 5420.00000 5420.05000 5420.10000 5420.15000 5420.20000 5420.25000 5420.30000 5420.35000 5420.40000 5420.45000 5420.50000 5420.55000 5420.60000 5420.65000 5420.70000 5420.75000 5420.80000 5420.85000 5420.90000 5420.95000 5421.00000 5421.05000 5421.10000 5421.15000 5421.20000 5421.25000 5421.30000 5421.35000 5421.40000 5421.45000 5421.50000 5421.55000 5421.60000 5421.65000 5421.70000 5421.75000 5421.80000 5421.85000 5421.90000 5421.95000 5422.00000 5422.05000 5422.10000 5422.15000 5422.20000 5422.25000 5422.30000 5422.35000 5422.40000 5422.45000 5422.50000 5422.55000 5422.60000 5422.65000 5422.70000 5422.75000 5422.80000 5422.85000 5422.90000 5422.95000 5423.00000 5423.05000 5423.10000 5423.15000 5423.20000 5423.25000 5423.30000 5423.35000 5423.40000 5423.45000 5423.50000 5423.55000 5423.60000 5423.65000 5423.70000 5423.75000 5423.80000 5423.85000 5423.90000 5423.95000 5424.00000 5424.05000 5424.10000 5424.15000 5424.20000 5424.25000 5424.30000 5424.35000 5424.40000 5424.45000 5424.50000 5424.55000 5424.60000 5424.65000 5424.70000 5424.75000 5424.80000 5424.85000 5424.90000 5424.95000 5425.00000 5425.05000 5425.10000 5425.15000 5425.20000 5425.25000 5425.30000 5425.35000 5425.40000 5425.45000 5425.50000 5425.55000 5425.60000 5425.65000 5425.70000 5425.75000 5425.80000 5425.85000 5425.90000 5425.95000 5426.00000 5426.05000 5426.10000 5426.15000 5426.20000 5426.25000 5426.30000 5426.35000 5426.40000 5426.45000 5426.50000 5426.55000 5426.60000 5426.65000 5426.70000 5426.75000 5426.80000 5426.85000 5426.90000 5426.95000 5427.00000 5427.05000 5427.10000 5427.15000 5427.20000 5427.25000 5427.30000 5427.35000 5427.40000 5427.45000 5427.50000 5427.55000 5427.60000 5427.65000 5427.70000 5427.75000 5427.80000 5427.85000 5427.90000 5427.95000 5428.00000

[Info 1]
Region Name=O1s
Excitation Energy=0
Energy Scale=Kinetic
Acquisition Mode=Swept
Center Energy=5418
Low Energy=5408
High Energy=5428
Energy Step=0.05
Step Time=200
Detector First X-Channel=1
Detector Last X-Channel=1064
Detector First Y-Channel=1
Detector Last Y-Channel=1000
Number of Slices=1
Lens Mode=Transmission
Pass Energy=200
Number of Sweeps=3
Spectrum Name=O1s
Instrument=HEA-4MS249
Location=SPring-8
User=BL15XU
Sample=n-Si_08
Comments=2009B;PE=200eV, TOA=60deg;RT, c0.5mm;ID24.4 ADC
Date=2/1/2010
Time=3:29:55 AM
Time per Spectrum Channel=279.2

[Run Mode Information 1]


[Data 1]
  5408.00000   2045.00000
  5408.05000   1998.00000
  5408.10000   1947.00000
  5408.15000   1885.00000
  5408.20000   2029.00000
  5408.25000   2049.00000
  5408.30000   1848.00000
  5408.35000   1939.00000
  5408.40000   1913.00000
  5408.45000   1954.00000
  5408.50000   1962.00000
  5408.55000   1915.00000
  5408.60000   1822.00000
  5408.65000   1988.00000
  5408.70000   1926.00000
  5408.75000   1951.00000
  5408.80000   1978.00000
  5408.85000   1894.00000
  5408.90000   1817.00000
  5408.95000   2040.00000
  5409.00000   1781.00000
  5409.05000   2070.00000
  5409.10000   1790.00000
  5409.15000   2018.00000
  5409.20000   1802.00000
  5409.25000   1795.00000
  5409.30000   1976.00000
  5409.35000   1828.00000
  5409.40000   2075.00000
  5409.45000   2052.00000
  5409.50000   1742.00000
  5409.55000   1853.00000
  5409.60000   1737.00000
  5409.65000   1973.00000
  5409.70000   1861.00000
  5409.75000   1979.00000
  5409.80000   1959.00000
  5409.85000   1839.00000
  5409.90000   1794.00000
  5409.95000   1895.00000
  5410.00000   2051.00000
  5410.05000   1987.00000
  5410.10000   1926.00000
  5410.15000   1999.00000
  5410.20000   1882.00000
  5410.25000   1940.00000
  5410.30000   1818.00000
  5410.35000   1705.00000
  5410.40000   1862.00000
  5410.45000   1690.00000
  5410.50000   1793.00000
  5410.55000   1912.00000
  5410.60000   1938.00000
  5410.65000   1912.00000
  5410.70000   1937.00000
  5410.75000   1841.00000
  5410.80000   1967.00000
  5410.85000   1997.00000
  5410.90000   1961.00000
  5410.95000   1990.00000
  5411.00000   1969.00000
  5411.05000   1882.00000
  5411.10000   1828.00000
  5411.15000   1830.00000
  5411.20000   2018.00000
  5411.25000   1773.00000
  5411.30000   1822.00000
  5411.35000   1834.00000
  5411.40000   1800.00000
  5411.45000   1790.00000
  5411.50000   1951.00000
  5411.55000   1881.00000
  5411.60000   1779.00000
  5411.65000   1788.00000
  5411.70000   2093.00000
  5411.75000   1836.00000
  5411.80000   2001.00000
  5411.85000   1923.00000
  5411.90000   1952.00000
  5411.95000   1863.00000
  5412.00000   1904.00000
  5412.05000   1917.00000
  5412.10000   2153.00000
  5412.15000   1937.00000
  5412.20000   2083.00000
  5412.25000   1947.00000
  5412.30000   2007.00000
  5412.35000   1922.00000
  5412.40000   1996.00000
  5412.45000   1999.00000
  5412.50000   1908.00000
  5412.55000   1914.00000
  5412.60000   1930.00000
  5412.65000   1837.00000
  5412.70000   1865.00000
  5412.75000   1862.00000
  5412.80000   2002.00000
  5412.85000   1949.00000
  5412.90000   1791.00000
  5412.95000   1892.00000
  5413.00000   1991.00000
  5413.05000   1912.00000
  5413.10000   1857.00000
  5413.15000   1909.00000
  5413.20000   1931.00000
  5413.25000   2024.00000
  5413.30000   1854.00000
  5413.35000   1807.00000
  5413.40000   1869.00000
  5413.45000   2001.00000
  5413.50000   1933.00000
  5413.55000   1837.00000
  5413.60000   1783.00000
  5413.65000   2086.00000
  5413.70000   1921.00000
  5413.75000   1904.00000
  5413.80000   1941.00000
  5413.85000   1763.00000
  5413.90000   2063.00000
  5413.95000   1937.00000
  5414.00000   2018.00000
  5414.05000   1900.00000
  5414.10000   1909.00000
  5414.15000   1936.00000
  5414.20000   2008.00000
  5414.25000   1950.00000
  5414.30000   1920.00000
  5414.35000   1812.00000
  5414.40000   2074.00000
  5414.45000   2095.00000
  5414.50000   2145.00000
  5414.55000   2079.00000
  5414.60000   2246.00000
  5414.65000   2068.00000
  5414.70000   2106.00000
  5414.75000   1977.00000
  5414.80000   2136.00000
  5414.85000   2153.00000
  5414.90000   2065.00000
  5414.95000   2056.00000
  5415.00000   2039.00000
  5415.05000   2076.00000
  5415.10000   2055.00000
  5415.15000   2151.00000
  5415.20000   2098.00000
  5415.25000   2165.00000
  5415.30000   2174.00000
  5415.35000   2270.00000
  5415.40000   2201.00000
  5415.45000   2126.00000
  5415.50000   2352.00000
  5415.55000   2215.00000
  5415.60000   2222.00000
  5415.65000   2265.00000
  5415.70000   2387.00000
  5415.75000   2266.00000
  5415.80000   2233.00000
  5415.85000   2326.00000
  5415.90000   2304.00000
  5415.95000   2219.00000
  5416.00000   2165.00000
  5416.05000   2231.00000
  5416.10000   2389.00000
  5416.15000   2344.00000
  5416.20000   2518.00000
  5416.25000   2382.00000
  5416.30000   2412.00000
  5416.35000   2582.00000
  5416.40000   2625.00000
  5416.45000   2507.00000
  5416.50000   2468.00000
  5416.55000   2693.00000
  5416.60000   2561.00000
  5416.65000   2528.00000
  5416.70000   2750.00000
  5416.75000   2995.00000
  5416.80000   2827.00000
  5416.85000   2928.00000
  5416.90000   2898.00000
  5416.95000   2807.00000
  5417.00000   2932.00000
  5417.05000   3108.00000
  5417.10000   3191.00000
  5417.15000   3020.00000
  5417.20000   2944.00000
  5417.25000   2806.00000
  5417.30000   2812.00000
  5417.35000   3008.00000
  5417.40000   3022.00000
  5417.45000   3134.00000
  5417.50000   3073.00000
  5417.55000   3062.00000
  5417.60000   3242.00000
  5417.65000   2951.00000
  5417.70000   2992.00000
  5417.75000   2721.00000
  5417.80000   3027.00000
  5417.85000   3276.00000
  5417.90000   2869.00000
  5417.95000   2963.00000
  5418.00000   2909.00000
  5418.05000   2893.00000
  5418.10000   2700.00000
  5418.15000   2882.00000
  5418.20000   2755.00000
  5418.25000   2832.00000
  5418.30000   2711.00000
  5418.35000   2775.00000
  5418.40000   2427.00000
  5418.45000   2800.00000
  5418.50000   2594.00000
  5418.55000   2443.00000
  5418.60000   2495.00000
  5418.65000   2200.00000
  5418.70000   2211.00000
  5418.75000   2320.00000
  5418.80000   2333.00000
  5418.85000   2256.00000
  5418.90000   2032.00000
  5418.95000   2192.00000
  5419.00000   2129.00000
  5419.05000   2218.00000
  5419.10000   2014.00000
  5419.15000   2088.00000
  5419.20000   1760.00000
  5419.25000   1931.00000
  5419.30000   2001.00000
  5419.35000   1871.00000
  5419.40000   1871.00000
  5419.45000   2001.00000
  5419.50000   1818.00000
  5419.55000   1897.00000
  5419.60000   1842.00000
  5419.65000   1818.00000
  5419.70000   1934.00000
  5419.75000   1953.00000
  5419.80000   1816.00000
  5419.85000   1965.00000
  5419.90000   1929.00000
  5419.95000   1980.00000
  5420.00000   1928.00000
  5420.05000   1888.00000
  5420.10000   2016.00000
  5420.15000   1883.00000
  5420.20000   1783.00000
  5420.25000   2023.00000
  5420.30000   1890.00000
  5420.35000   1784.00000
  5420.40000   1880.00000
  5420.45000   1982.00000
  5420.50000   1768.00000
  5420.55000   1930.00000
  5420.60000   1972.00000
  5420.65000   1957.00000
  5420.70000   1930.00000
  5420.75000   1969.00000
  5420.80000   2026.00000
  5420.85000   1893.00000
  5420.90000   2117.00000
  5420.95000   1906.00000
  5421.00000   1721.00000
  5421.05000   2063.00000
  5421.10000   1958.00000
  5421.15000   1942.00000
  5421.20000   1857.00000
  5421.25000   1969.00000
  5421.30000   1895.00000
  5421.35000   1807.00000
  5421.40000   1832.00000
  5421.45000   1932.00000
  5421.50000   2016.00000
  5421.55000   1788.00000
  5421.60000   1847.00000
  5421.65000   1936.00000
  5421.70000   1785.00000
  5421.75000   1857.00000
  5421.80000   1887.00000
  5421.85000   2021.00000
  5421.90000   1878.00000
  5421.95000   1836.00000
  5422.00000   1937.00000
  5422.05000   1999.00000
  5422.10000   1863.00000
  5422.15000   1923.00000
  5422.20000   1971.00000
  5422.25000   1893.00000
  5422.30000   1966.00000
  5422.35000   1900.00000
  5422.40000   1962.00000
  5422.45000   1950.00000
  5422.50000   1834.00000
  5422.55000   1802.00000
  5422.60000   1978.00000
  5422.65000   2059.00000
  5422.70000   1914.00000
  5422.75000   1916.00000
  5422.80000   1912.00000
  5422.85000   1956.00000
  5422.90000   2050.00000
  5422.95000   2148.00000
  5423.00000   1884.00000
  5423.05000   1950.00000
  5423.10000   1766.00000
  5423.15000   1866.00000
  5423.20000   1861.00000
  5423.25000   1871.00000
  5423.30000   1838.00000
  5423.35000   2048.00000
  5423.40000   1961.00000
  5423.45000   1939.00000
  5423.50000   1896.00000
  5423.55000   1848.00000
  5423.60000   1844.00000
  5423.65000   1813.00000
  5423.70000   1956.00000
  5423.75000   1900.00000
  5423.80000   1761.00000
  5423.85000   1836.00000
  5423.90000   1732.00000
  5423.95000   2000.00000
  5424.00000   1957.00000
  5424.05000   2009.00000
  5424.10000   1899.00000
  5424.15000   1954.00000
  5424.20000   1946.00000
  5424.25000   1920.00000
  5424.30000   1953.00000
  5424.35000   1862.00000
  5424.40000   2104.00000
  5424.45000   1954.00000
  5424.50000   1884.00000
  5424.55000   1978.00000
  5424.60000   2049.00000
  5424.65000   1871.00000
  5424.70000   1927.00000
  5424.75000   2047.00000
  5424.80000   1984.00000
  5424.85000   1925.00000
  5424.90000   2114.00000
  5424.95000   1903.00000
  5425.00000   2071.00000
  5425.05000   1920.00000
  5425.10000   1877.00000
  5425.15000   1931.00000
  5425.20000   1742.00000
  5425.25000   1871.00000
  5425.30000   2103.00000
  5425.35000   1910.00000
  5425.40000   1984.00000
  5425.45000   1944.00000
  5425.50000   2052.00000
  5425.55000   1954.00000
  5425.60000   1827.00000
  5425.65000   1865.00000
  5425.70000   2024.00000
  5425.75000   2042.00000
  5425.80000   1967.00000
  5425.85000   1785.00000
  5425.90000   1842.00000
  5425.95000   1854.00000
  5426.00000   1799.00000
  5426.05000   2018.00000
  5426.10000   1943.00000
  5426.15000   1977.00000
  5426.20000   1968.00000
  5426.25000   2076.00000
  5426.30000   1924.00000
  5426.35000   1885.00000
  5426.40000   2014.00000
  5426.45000   1784.00000
  5426.50000   2040.00000
  5426.55000   2017.00000
  5426.60000   1940.00000
  5426.65000   1975.00000
  5426.70000   1902.00000
  5426.75000   1986.00000
  5426.80000   1868.00000
  5426.85000   1919.00000
  5426.90000   1891.00000
  5426.95000   1954.00000
  5427.00000   1942.00000
  5427.05000   1883.00000
  5427.10000   1796.00000
  5427.15000   1842.00000
  5427.20000   2006.00000
  5427.25000   1868.00000
  5427.30000   1969.00000
  5427.35000   1933.00000
  5427.40000   1892.00000
  5427.45000   1808.00000
  5427.50000   1875.00000
  5427.55000   1836.00000
  5427.60000   1825.00000
  5427.65000   1868.00000
  5427.70000   1800.00000
  5427.75000   1918.00000
  5427.80000   1802.00000
  5427.85000   1850.00000
  5427.90000   1971.00000
  5427.95000   1825.00000
  5428.00000   1940.00000

