[Info]
Number of Regions=0001
Version=1.2.5

[Region 1]
Region Name=C1s
Dimension 1 name=Kinetic Energy [eV]
Dimension 1 size=221
Dimension 1 scale=5658.00000 5658.05000 5658.10000 5658.15000 5658.20000 5658.25000 5658.30000 5658.35000 5658.40000 5658.45000 5658.50000 5658.55000 5658.60000 5658.65000 5658.70000 5658.75000 5658.80000 5658.85000 5658.90000 5658.95000 5659.00000 5659.05000 5659.10000 5659.15000 5659.20000 5659.25000 5659.30000 5659.35000 5659.40000 5659.45000 5659.50000 5659.55000 5659.60000 5659.65000 5659.70000 5659.75000 5659.80000 5659.85000 5659.90000 5659.95000 5660.00000 5660.05000 5660.10000 5660.15000 5660.20000 5660.25000 5660.30000 5660.35000 5660.40000 5660.45000 5660.50000 5660.55000 5660.60000 5660.65000 5660.70000 5660.75000 5660.80000 5660.85000 5660.90000 5660.95000 5661.00000 5661.05000 5661.10000 5661.15000 5661.20000 5661.25000 5661.30000 5661.35000 5661.40000 5661.45000 5661.50000 5661.55000 5661.60000 5661.65000 5661.70000 5661.75000 5661.80000 5661.85000 5661.90000 5661.95000 5662.00000 5662.05000 5662.10000 5662.15000 5662.20000 5662.25000 5662.30000 5662.35000 5662.40000 5662.45000 5662.50000 5662.55000 5662.60000 5662.65000 5662.70000 5662.75000 5662.80000 5662.85000 5662.90000 5662.95000 5663.00000 5663.05000 5663.10000 5663.15000 5663.20000 5663.25000 5663.30000 5663.35000 5663.40000 5663.45000 5663.50000 5663.55000 5663.60000 5663.65000 5663.70000 5663.75000 5663.80000 5663.85000 5663.90000 5663.95000 5664.00000 5664.05000 5664.10000 5664.15000 5664.20000 5664.25000 5664.30000 5664.35000 5664.40000 5664.45000 5664.50000 5664.55000 5664.60000 5664.65000 5664.70000 5664.75000 5664.80000 5664.85000 5664.90000 5664.95000 5665.00000 5665.05000 5665.10000 5665.15000 5665.20000 5665.25000 5665.30000 5665.35000 5665.40000 5665.45000 5665.50000 5665.55000 5665.60000 5665.65000 5665.70000 5665.75000 5665.80000 5665.85000 5665.90000 5665.95000 5666.00000 5666.05000 5666.10000 5666.15000 5666.20000 5666.25000 5666.30000 5666.35000 5666.40000 5666.45000 5666.50000 5666.55000 5666.60000 5666.65000 5666.70000 5666.75000 5666.80000 5666.85000 5666.90000 5666.95000 5667.00000 5667.05000 5667.10000 5667.15000 5667.20000 5667.25000 5667.30000 5667.35000 5667.40000 5667.45000 5667.50000 5667.55000 5667.60000 5667.65000 5667.70000 5667.75000 5667.80000 5667.85000 5667.90000 5667.95000 5668.00000 5668.05000 5668.10000 5668.15000 5668.20000 5668.25000 5668.30000 5668.35000 5668.40000 5668.45000 5668.50000 5668.55000 5668.60000 5668.65000 5668.70000 5668.75000 5668.80000 5668.85000 5668.90000 5668.95000 5669.00000

[Info 1]
Region Name=C1s
Excitation Energy=0
Energy Scale=Kinetic
Acquisition Mode=Swept
Center Energy=5663.5
Low Energy=5658
High Energy=5669
Energy Step=0.05
Step Time=200
Detector First X-Channel=1
Detector Last X-Channel=1064
Detector First Y-Channel=1
Detector Last Y-Channel=1000
Number of Slices=1
Lens Mode=Transmission
Pass Energy=200
Number of Sweeps=3
Spectrum Name=C1s
Instrument=HEA-4MS249
Location=SPring-8
User=BL15XU
Sample=n-Si002
Comments=2009A,;PE=200eV, TOA=88deg;RT, c0.5mm;ID24.9;
Date=1/31/2010
Time=1:06:24 AM
Time per Spectrum Channel=279.2

[Run Mode Information 1]


[Data 1]
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