[Info]
Number of Regions=0001
Version=1.2.5

[Region 1]
Region Name=O1s
Dimension 1 name=Kinetic Energy [eV]
Dimension 1 size=401
Dimension 1 scale=5408.00000 5408.05000 5408.10000 5408.15000 5408.20000 5408.25000 5408.30000 5408.35000 5408.40000 5408.45000 5408.50000 5408.55000 5408.60000 5408.65000 5408.70000 5408.75000 5408.80000 5408.85000 5408.90000 5408.95000 5409.00000 5409.05000 5409.10000 5409.15000 5409.20000 5409.25000 5409.30000 5409.35000 5409.40000 5409.45000 5409.50000 5409.55000 5409.60000 5409.65000 5409.70000 5409.75000 5409.80000 5409.85000 5409.90000 5409.95000 5410.00000 5410.05000 5410.10000 5410.15000 5410.20000 5410.25000 5410.30000 5410.35000 5410.40000 5410.45000 5410.50000 5410.55000 5410.60000 5410.65000 5410.70000 5410.75000 5410.80000 5410.85000 5410.90000 5410.95000 5411.00000 5411.05000 5411.10000 5411.15000 5411.20000 5411.25000 5411.30000 5411.35000 5411.40000 5411.45000 5411.50000 5411.55000 5411.60000 5411.65000 5411.70000 5411.75000 5411.80000 5411.85000 5411.90000 5411.95000 5412.00000 5412.05000 5412.10000 5412.15000 5412.20000 5412.25000 5412.30000 5412.35000 5412.40000 5412.45000 5412.50000 5412.55000 5412.60000 5412.65000 5412.70000 5412.75000 5412.80000 5412.85000 5412.90000 5412.95000 5413.00000 5413.05000 5413.10000 5413.15000 5413.20000 5413.25000 5413.30000 5413.35000 5413.40000 5413.45000 5413.50000 5413.55000 5413.60000 5413.65000 5413.70000 5413.75000 5413.80000 5413.85000 5413.90000 5413.95000 5414.00000 5414.05000 5414.10000 5414.15000 5414.20000 5414.25000 5414.30000 5414.35000 5414.40000 5414.45000 5414.50000 5414.55000 5414.60000 5414.65000 5414.70000 5414.75000 5414.80000 5414.85000 5414.90000 5414.95000 5415.00000 5415.05000 5415.10000 5415.15000 5415.20000 5415.25000 5415.30000 5415.35000 5415.40000 5415.45000 5415.50000 5415.55000 5415.60000 5415.65000 5415.70000 5415.75000 5415.80000 5415.85000 5415.90000 5415.95000 5416.00000 5416.05000 5416.10000 5416.15000 5416.20000 5416.25000 5416.30000 5416.35000 5416.40000 5416.45000 5416.50000 5416.55000 5416.60000 5416.65000 5416.70000 5416.75000 5416.80000 5416.85000 5416.90000 5416.95000 5417.00000 5417.05000 5417.10000 5417.15000 5417.20000 5417.25000 5417.30000 5417.35000 5417.40000 5417.45000 5417.50000 5417.55000 5417.60000 5417.65000 5417.70000 5417.75000 5417.80000 5417.85000 5417.90000 5417.95000 5418.00000 5418.05000 5418.10000 5418.15000 5418.20000 5418.25000 5418.30000 5418.35000 5418.40000 5418.45000 5418.50000 5418.55000 5418.60000 5418.65000 5418.70000 5418.75000 5418.80000 5418.85000 5418.90000 5418.95000 5419.00000 5419.05000 5419.10000 5419.15000 5419.20000 5419.25000 5419.30000 5419.35000 5419.40000 5419.45000 5419.50000 5419.55000 5419.60000 5419.65000 5419.70000 5419.75000 5419.80000 5419.85000 5419.90000 5419.95000 5420.00000 5420.05000 5420.10000 5420.15000 5420.20000 5420.25000 5420.30000 5420.35000 5420.40000 5420.45000 5420.50000 5420.55000 5420.60000 5420.65000 5420.70000 5420.75000 5420.80000 5420.85000 5420.90000 5420.95000 5421.00000 5421.05000 5421.10000 5421.15000 5421.20000 5421.25000 5421.30000 5421.35000 5421.40000 5421.45000 5421.50000 5421.55000 5421.60000 5421.65000 5421.70000 5421.75000 5421.80000 5421.85000 5421.90000 5421.95000 5422.00000 5422.05000 5422.10000 5422.15000 5422.20000 5422.25000 5422.30000 5422.35000 5422.40000 5422.45000 5422.50000 5422.55000 5422.60000 5422.65000 5422.70000 5422.75000 5422.80000 5422.85000 5422.90000 5422.95000 5423.00000 5423.05000 5423.10000 5423.15000 5423.20000 5423.25000 5423.30000 5423.35000 5423.40000 5423.45000 5423.50000 5423.55000 5423.60000 5423.65000 5423.70000 5423.75000 5423.80000 5423.85000 5423.90000 5423.95000 5424.00000 5424.05000 5424.10000 5424.15000 5424.20000 5424.25000 5424.30000 5424.35000 5424.40000 5424.45000 5424.50000 5424.55000 5424.60000 5424.65000 5424.70000 5424.75000 5424.80000 5424.85000 5424.90000 5424.95000 5425.00000 5425.05000 5425.10000 5425.15000 5425.20000 5425.25000 5425.30000 5425.35000 5425.40000 5425.45000 5425.50000 5425.55000 5425.60000 5425.65000 5425.70000 5425.75000 5425.80000 5425.85000 5425.90000 5425.95000 5426.00000 5426.05000 5426.10000 5426.15000 5426.20000 5426.25000 5426.30000 5426.35000 5426.40000 5426.45000 5426.50000 5426.55000 5426.60000 5426.65000 5426.70000 5426.75000 5426.80000 5426.85000 5426.90000 5426.95000 5427.00000 5427.05000 5427.10000 5427.15000 5427.20000 5427.25000 5427.30000 5427.35000 5427.40000 5427.45000 5427.50000 5427.55000 5427.60000 5427.65000 5427.70000 5427.75000 5427.80000 5427.85000 5427.90000 5427.95000 5428.00000

[Info 1]
Region Name=O1s
Excitation Energy=0
Energy Scale=Kinetic
Acquisition Mode=Swept
Center Energy=5418
Low Energy=5408
High Energy=5428
Energy Step=0.05
Step Time=200
Detector First X-Channel=1
Detector Last X-Channel=1064
Detector First Y-Channel=1
Detector Last Y-Channel=1000
Number of Slices=1
Lens Mode=Transmission
Pass Energy=200
Number of Sweeps=3
Spectrum Name=O1s
Instrument=HEA-4MS249
Location=SPring-8
User=BL15XU
Sample=n-Si002
Comments=2009A,;PE=200eV, TOA=88deg;RT, c0.5mm;ID24.9;
Date=1/31/2010
Time=12:57:45 AM
Time per Spectrum Channel=279.2

[Run Mode Information 1]


[Data 1]
  5408.00000   2904.00000
  5408.05000   2711.00000
  5408.10000   2762.00000
  5408.15000   2827.00000
  5408.20000   2834.00000
  5408.25000   2739.00000
  5408.30000   2783.00000
  5408.35000   2621.00000
  5408.40000   2836.00000
  5408.45000   2721.00000
  5408.50000   2801.00000
  5408.55000   2795.00000
  5408.60000   2638.00000
  5408.65000   2760.00000
  5408.70000   2713.00000
  5408.75000   2493.00000
  5408.80000   2626.00000
  5408.85000   2441.00000
  5408.90000   2600.00000
  5408.95000   2821.00000
  5409.00000   2961.00000
  5409.05000   2684.00000
  5409.10000   2717.00000
  5409.15000   2666.00000
  5409.20000   2912.00000
  5409.25000   2755.00000
  5409.30000   2591.00000
  5409.35000   2527.00000
  5409.40000   2718.00000
  5409.45000   2669.00000
  5409.50000   2642.00000
  5409.55000   2603.00000
  5409.60000   2683.00000
  5409.65000   2650.00000
  5409.70000   2543.00000
  5409.75000   2796.00000
  5409.80000   2672.00000
  5409.85000   2629.00000
  5409.90000   2657.00000
  5409.95000   2720.00000
  5410.00000   2779.00000
  5410.05000   2662.00000
  5410.10000   2816.00000
  5410.15000   2886.00000
  5410.20000   2510.00000
  5410.25000   2680.00000
  5410.30000   2875.00000
  5410.35000   2709.00000
  5410.40000   2694.00000
  5410.45000   2807.00000
  5410.50000   2813.00000
  5410.55000   2682.00000
  5410.60000   2809.00000
  5410.65000   2522.00000
  5410.70000   2750.00000
  5410.75000   2644.00000
  5410.80000   2832.00000
  5410.85000   2592.00000
  5410.90000   2600.00000
  5410.95000   2731.00000
  5411.00000   2812.00000
  5411.05000   2951.00000
  5411.10000   2748.00000
  5411.15000   2578.00000
  5411.20000   2673.00000
  5411.25000   2849.00000
  5411.30000   2589.00000
  5411.35000   2649.00000
  5411.40000   2783.00000
  5411.45000   2765.00000
  5411.50000   2796.00000
  5411.55000   2643.00000
  5411.60000   2637.00000
  5411.65000   2991.00000
  5411.70000   2801.00000
  5411.75000   2703.00000
  5411.80000   2772.00000
  5411.85000   2744.00000
  5411.90000   2641.00000
  5411.95000   2735.00000
  5412.00000   2716.00000
  5412.05000   2669.00000
  5412.10000   2911.00000
  5412.15000   2919.00000
  5412.20000   2763.00000
  5412.25000   2794.00000
  5412.30000   2777.00000
  5412.35000   2700.00000
  5412.40000   2967.00000
  5412.45000   2499.00000
  5412.50000   2640.00000
  5412.55000   2893.00000
  5412.60000   2864.00000
  5412.65000   2710.00000
  5412.70000   2783.00000
  5412.75000   2748.00000
  5412.80000   2866.00000
  5412.85000   2642.00000
  5412.90000   2746.00000
  5412.95000   2774.00000
  5413.00000   2904.00000
  5413.05000   2878.00000
  5413.10000   2954.00000
  5413.15000   2906.00000
  5413.20000   2679.00000
  5413.25000   2644.00000
  5413.30000   2561.00000
  5413.35000   2636.00000
  5413.40000   2612.00000
  5413.45000   2694.00000
  5413.50000   2762.00000
  5413.55000   2777.00000
  5413.60000   2762.00000
  5413.65000   2631.00000
  5413.70000   2762.00000
  5413.75000   2975.00000
  5413.80000   2731.00000
  5413.85000   2704.00000
  5413.90000   2740.00000
  5413.95000   2790.00000
  5414.00000   2689.00000
  5414.05000   2722.00000
  5414.10000   2812.00000
  5414.15000   2770.00000
  5414.20000   2611.00000
  5414.25000   2560.00000
  5414.30000   2781.00000
  5414.35000   2724.00000
  5414.40000   2726.00000
  5414.45000   2711.00000
  5414.50000   3056.00000
  5414.55000   2672.00000
  5414.60000   2718.00000
  5414.65000   2758.00000
  5414.70000   2796.00000
  5414.75000   2725.00000
  5414.80000   2688.00000
  5414.85000   2620.00000
  5414.90000   2708.00000
  5414.95000   2718.00000
  5415.00000   2818.00000
  5415.05000   2831.00000
  5415.10000   2904.00000
  5415.15000   2893.00000
  5415.20000   2668.00000
  5415.25000   2816.00000
  5415.30000   2860.00000
  5415.35000   2844.00000
  5415.40000   2798.00000
  5415.45000   2907.00000
  5415.50000   2792.00000
  5415.55000   2839.00000
  5415.60000   2724.00000
  5415.65000   2748.00000
  5415.70000   2679.00000
  5415.75000   2947.00000
  5415.80000   2921.00000
  5415.85000   2748.00000
  5415.90000   2983.00000
  5415.95000   2926.00000
  5416.00000   2955.00000
  5416.05000   2992.00000
  5416.10000   3042.00000
  5416.15000   3133.00000
  5416.20000   3162.00000
  5416.25000   3049.00000
  5416.30000   3282.00000
  5416.35000   3209.00000
  5416.40000   2846.00000
  5416.45000   3657.00000
  5416.50000   3435.00000
  5416.55000   3561.00000
  5416.60000   3546.00000
  5416.65000   3786.00000
  5416.70000   3898.00000
  5416.75000   3867.00000
  5416.80000   4025.00000
  5416.85000   4052.00000
  5416.90000   4315.00000
  5416.95000   4344.00000
  5417.00000   4374.00000
  5417.05000   4583.00000
  5417.10000   4818.00000
  5417.15000   4752.00000
  5417.20000   4789.00000
  5417.25000   4899.00000
  5417.30000   4838.00000
  5417.35000   4969.00000
  5417.40000   4820.00000
  5417.45000   5162.00000
  5417.50000   5088.00000
  5417.55000   5191.00000
  5417.60000   5194.00000
  5417.65000   5373.00000
  5417.70000   5288.00000
  5417.75000   5102.00000
  5417.80000   5106.00000
  5417.85000   5181.00000
  5417.90000   5202.00000
  5417.95000   4929.00000
  5418.00000   4695.00000
  5418.05000   4864.00000
  5418.10000   4818.00000
  5418.15000   4476.00000
  5418.20000   4888.00000
  5418.25000   4314.00000
  5418.30000   4412.00000
  5418.35000   4521.00000
  5418.40000   4246.00000
  5418.45000   4225.00000
  5418.50000   4156.00000
  5418.55000   3953.00000
  5418.60000   3832.00000
  5418.65000   3636.00000
  5418.70000   3645.00000
  5418.75000   3465.00000
  5418.80000   3371.00000
  5418.85000   3232.00000
  5418.90000   3055.00000
  5418.95000   3041.00000
  5419.00000   3166.00000
  5419.05000   3036.00000
  5419.10000   3130.00000
  5419.15000   2959.00000
  5419.20000   2832.00000
  5419.25000   2944.00000
  5419.30000   2744.00000
  5419.35000   2777.00000
  5419.40000   2688.00000
  5419.45000   2774.00000
  5419.50000   2639.00000
  5419.55000   2641.00000
  5419.60000   2904.00000
  5419.65000   2690.00000
  5419.70000   2865.00000
  5419.75000   2811.00000
  5419.80000   3055.00000
  5419.85000   2715.00000
  5419.90000   2634.00000
  5419.95000   2665.00000
  5420.00000   2858.00000
  5420.05000   2842.00000
  5420.10000   2767.00000
  5420.15000   2690.00000
  5420.20000   2778.00000
  5420.25000   2617.00000
  5420.30000   2791.00000
  5420.35000   2795.00000
  5420.40000   2775.00000
  5420.45000   2863.00000
  5420.50000   2733.00000
  5420.55000   2744.00000
  5420.60000   2801.00000
  5420.65000   2842.00000
  5420.70000   2851.00000
  5420.75000   2727.00000
  5420.80000   2686.00000
  5420.85000   2629.00000
  5420.90000   2727.00000
  5420.95000   2693.00000
  5421.00000   2719.00000
  5421.05000   2910.00000
  5421.10000   2864.00000
  5421.15000   2640.00000
  5421.20000   2777.00000
  5421.25000   2742.00000
  5421.30000   2520.00000
  5421.35000   2674.00000
  5421.40000   2750.00000
  5421.45000   2913.00000
  5421.50000   2669.00000
  5421.55000   2811.00000
  5421.60000   2832.00000
  5421.65000   2698.00000
  5421.70000   2716.00000
  5421.75000   2861.00000
  5421.80000   2654.00000
  5421.85000   3040.00000
  5421.90000   2545.00000
  5421.95000   2765.00000
  5422.00000   2833.00000
  5422.05000   2589.00000
  5422.10000   2841.00000
  5422.15000   2742.00000
  5422.20000   2859.00000
  5422.25000   2687.00000
  5422.30000   2901.00000
  5422.35000   2934.00000
  5422.40000   2817.00000
  5422.45000   2579.00000
  5422.50000   2879.00000
  5422.55000   2651.00000
  5422.60000   2711.00000
  5422.65000   2683.00000
  5422.70000   2662.00000
  5422.75000   2567.00000
  5422.80000   2798.00000
  5422.85000   2724.00000
  5422.90000   2837.00000
  5422.95000   2765.00000
  5423.00000   2749.00000
  5423.05000   2624.00000
  5423.10000   2724.00000
  5423.15000   2739.00000
  5423.20000   2590.00000
  5423.25000   2718.00000
  5423.30000   2578.00000
  5423.35000   2738.00000
  5423.40000   2622.00000
  5423.45000   2822.00000
  5423.50000   2604.00000
  5423.55000   2754.00000
  5423.60000   2754.00000
  5423.65000   2797.00000
  5423.70000   2612.00000
  5423.75000   2639.00000
  5423.80000   2822.00000
  5423.85000   2792.00000
  5423.90000   2826.00000
  5423.95000   2611.00000
  5424.00000   2795.00000
  5424.05000   2554.00000
  5424.10000   2682.00000
  5424.15000   2723.00000
  5424.20000   2655.00000
  5424.25000   2832.00000
  5424.30000   2896.00000
  5424.35000   2704.00000
  5424.40000   2655.00000
  5424.45000   2598.00000
  5424.50000   2490.00000
  5424.55000   2506.00000
  5424.60000   2713.00000
  5424.65000   2790.00000
  5424.70000   2898.00000
  5424.75000   2766.00000
  5424.80000   2764.00000
  5424.85000   2799.00000
  5424.90000   2609.00000
  5424.95000   2713.00000
  5425.00000   2739.00000
  5425.05000   2723.00000
  5425.10000   2585.00000
  5425.15000   2752.00000
  5425.20000   2763.00000
  5425.25000   2766.00000
  5425.30000   2663.00000
  5425.35000   2893.00000
  5425.40000   2726.00000
  5425.45000   2646.00000
  5425.50000   2610.00000
  5425.55000   2713.00000
  5425.60000   2776.00000
  5425.65000   2803.00000
  5425.70000   2677.00000
  5425.75000   2557.00000
  5425.80000   2708.00000
  5425.85000   2812.00000
  5425.90000   2496.00000
  5425.95000   2643.00000
  5426.00000   2889.00000
  5426.05000   2606.00000
  5426.10000   2563.00000
  5426.15000   2536.00000
  5426.20000   2712.00000
  5426.25000   2574.00000
  5426.30000   2647.00000
  5426.35000   2627.00000
  5426.40000   2588.00000
  5426.45000   2740.00000
  5426.50000   2638.00000
  5426.55000   2652.00000
  5426.60000   2593.00000
  5426.65000   2535.00000
  5426.70000   2397.00000
  5426.75000   2697.00000
  5426.80000   2816.00000
  5426.85000   2706.00000
  5426.90000   2664.00000
  5426.95000   2707.00000
  5427.00000   2520.00000
  5427.05000   2774.00000
  5427.10000   2850.00000
  5427.15000   2746.00000
  5427.20000   2819.00000
  5427.25000   2761.00000
  5427.30000   2641.00000
  5427.35000   2703.00000
  5427.40000   2803.00000
  5427.45000   2676.00000
  5427.50000   2620.00000
  5427.55000   2806.00000
  5427.60000   2945.00000
  5427.65000   2766.00000
  5427.70000   2770.00000
  5427.75000   2944.00000
  5427.80000   2640.00000
  5427.85000   2850.00000
  5427.90000   2942.00000
  5427.95000   2786.00000
  5428.00000   2868.00000

