[Info]
Number of Regions=0001
Version=1.2.5

[Region 1]
Region Name=C1s
Dimension 1 name=Kinetic Energy [eV]
Dimension 1 size=221
Dimension 1 scale=5658.00000 5658.05000 5658.10000 5658.15000 5658.20000 5658.25000 5658.30000 5658.35000 5658.40000 5658.45000 5658.50000 5658.55000 5658.60000 5658.65000 5658.70000 5658.75000 5658.80000 5658.85000 5658.90000 5658.95000 5659.00000 5659.05000 5659.10000 5659.15000 5659.20000 5659.25000 5659.30000 5659.35000 5659.40000 5659.45000 5659.50000 5659.55000 5659.60000 5659.65000 5659.70000 5659.75000 5659.80000 5659.85000 5659.90000 5659.95000 5660.00000 5660.05000 5660.10000 5660.15000 5660.20000 5660.25000 5660.30000 5660.35000 5660.40000 5660.45000 5660.50000 5660.55000 5660.60000 5660.65000 5660.70000 5660.75000 5660.80000 5660.85000 5660.90000 5660.95000 5661.00000 5661.05000 5661.10000 5661.15000 5661.20000 5661.25000 5661.30000 5661.35000 5661.40000 5661.45000 5661.50000 5661.55000 5661.60000 5661.65000 5661.70000 5661.75000 5661.80000 5661.85000 5661.90000 5661.95000 5662.00000 5662.05000 5662.10000 5662.15000 5662.20000 5662.25000 5662.30000 5662.35000 5662.40000 5662.45000 5662.50000 5662.55000 5662.60000 5662.65000 5662.70000 5662.75000 5662.80000 5662.85000 5662.90000 5662.95000 5663.00000 5663.05000 5663.10000 5663.15000 5663.20000 5663.25000 5663.30000 5663.35000 5663.40000 5663.45000 5663.50000 5663.55000 5663.60000 5663.65000 5663.70000 5663.75000 5663.80000 5663.85000 5663.90000 5663.95000 5664.00000 5664.05000 5664.10000 5664.15000 5664.20000 5664.25000 5664.30000 5664.35000 5664.40000 5664.45000 5664.50000 5664.55000 5664.60000 5664.65000 5664.70000 5664.75000 5664.80000 5664.85000 5664.90000 5664.95000 5665.00000 5665.05000 5665.10000 5665.15000 5665.20000 5665.25000 5665.30000 5665.35000 5665.40000 5665.45000 5665.50000 5665.55000 5665.60000 5665.65000 5665.70000 5665.75000 5665.80000 5665.85000 5665.90000 5665.95000 5666.00000 5666.05000 5666.10000 5666.15000 5666.20000 5666.25000 5666.30000 5666.35000 5666.40000 5666.45000 5666.50000 5666.55000 5666.60000 5666.65000 5666.70000 5666.75000 5666.80000 5666.85000 5666.90000 5666.95000 5667.00000 5667.05000 5667.10000 5667.15000 5667.20000 5667.25000 5667.30000 5667.35000 5667.40000 5667.45000 5667.50000 5667.55000 5667.60000 5667.65000 5667.70000 5667.75000 5667.80000 5667.85000 5667.90000 5667.95000 5668.00000 5668.05000 5668.10000 5668.15000 5668.20000 5668.25000 5668.30000 5668.35000 5668.40000 5668.45000 5668.50000 5668.55000 5668.60000 5668.65000 5668.70000 5668.75000 5668.80000 5668.85000 5668.90000 5668.95000 5669.00000

[Info 1]
Region Name=C1s
Excitation Energy=0
Energy Scale=Kinetic
Acquisition Mode=Swept
Center Energy=5663.5
Low Energy=5658
High Energy=5669
Energy Step=0.05
Step Time=200
Detector First X-Channel=1
Detector Last X-Channel=1064
Detector First Y-Channel=1
Detector Last Y-Channel=1000
Number of Slices=1
Lens Mode=Transmission
Pass Energy=200
Number of Sweeps=2
Spectrum Name=C1s
Instrument=HEA-4MS249
Location=SPring-8
User=BL15XU
Sample=n_Si002
Comments=2009A,;PE=200eV, TOA=88deg;RT, c0.5mm;ID24.4;;
Date=1/30/2010
Time=10:50:03 AM
Time per Spectrum Channel=209.4

[Run Mode Information 1]


[Data 1]
  5658.00000  15897.00000
  5658.05000  16331.00000
  5658.10000  16069.00000
  5658.15000  15973.00000
  5658.20000  16322.00000
  5658.25000  15728.00000
  5658.30000  16019.00000
  5658.35000  16126.00000
  5658.40000  16085.00000
  5658.45000  16414.00000
  5658.50000  16200.00000
  5658.55000  16277.00000
  5658.60000  16153.00000
  5658.65000  16298.00000
  5658.70000  17039.00000
  5658.75000  16072.00000
  5658.80000  16024.00000
  5658.85000  16039.00000
  5658.90000  16308.00000
  5658.95000  16244.00000
  5659.00000  16255.00000
  5659.05000  15467.00000
  5659.10000  15872.00000
  5659.15000  16204.00000
  5659.20000  16485.00000
  5659.25000  16353.00000
  5659.30000  16637.00000
  5659.35000  15871.00000
  5659.40000  16215.00000
  5659.45000  16609.00000
  5659.50000  16265.00000
  5659.55000  16096.00000
  5659.60000  16490.00000
  5659.65000  15857.00000
  5659.70000  16061.00000
  5659.75000  16336.00000
  5659.80000  16476.00000
  5659.85000  16496.00000
  5659.90000  16214.00000
  5659.95000  16261.00000
  5660.00000  16257.00000
  5660.05000  16418.00000
  5660.10000  16314.00000
  5660.15000  16523.00000
  5660.20000  15942.00000
  5660.25000  16228.00000
  5660.30000  16438.00000
  5660.35000  15949.00000
  5660.40000  15888.00000
  5660.45000  16086.00000
  5660.50000  16528.00000
  5660.55000  16537.00000
  5660.60000  16153.00000
  5660.65000  16561.00000
  5660.70000  16439.00000
  5660.75000  16341.00000
  5660.80000  15921.00000
  5660.85000  16319.00000
  5660.90000  16528.00000
  5660.95000  16176.00000
  5661.00000  16563.00000
  5661.05000  16644.00000
  5661.10000  16659.00000
  5661.15000  16503.00000
  5661.20000  15886.00000
  5661.25000  16810.00000
  5661.30000  16247.00000
  5661.35000  16215.00000
  5661.40000  16291.00000
  5661.45000  16257.00000
  5661.50000  16410.00000
  5661.55000  16210.00000
  5661.60000  16340.00000
  5661.65000  16043.00000
  5661.70000  16453.00000
  5661.75000  15926.00000
  5661.80000  16235.00000
  5661.85000  16791.00000
  5661.90000  16371.00000
  5661.95000  16398.00000
  5662.00000  16391.00000
  5662.05000  16403.00000
  5662.10000  15996.00000
  5662.15000  16617.00000
  5662.20000  15984.00000
  5662.25000  16442.00000
  5662.30000  16538.00000
  5662.35000  16106.00000
  5662.40000  16685.00000
  5662.45000  16601.00000
  5662.50000  16597.00000
  5662.55000  16753.00000
  5662.60000  16416.00000
  5662.65000  16175.00000
  5662.70000  16367.00000
  5662.75000  16291.00000
  5662.80000  16650.00000
  5662.85000  16811.00000
  5662.90000  16849.00000
  5662.95000  16714.00000
  5663.00000  16759.00000
  5663.05000  16357.00000
  5663.10000  16708.00000
  5663.15000  17117.00000
  5663.20000  16935.00000
  5663.25000  17169.00000
  5663.30000  17041.00000
  5663.35000  17272.00000
  5663.40000  16855.00000
  5663.45000  17251.00000
  5663.50000  16674.00000
  5663.55000  17060.00000
  5663.60000  17051.00000
  5663.65000  17336.00000
  5663.70000  17118.00000
  5663.75000  17381.00000
  5663.80000  17543.00000
  5663.85000  17619.00000
  5663.90000  17923.00000
  5663.95000  18288.00000
  5664.00000  18151.00000
  5664.05000  18028.00000
  5664.10000  18530.00000
  5664.15000  18912.00000
  5664.20000  19200.00000
  5664.25000  19207.00000
  5664.30000  19810.00000
  5664.35000  20838.00000
  5664.40000  20793.00000
  5664.45000  20955.00000
  5664.50000  21508.00000
  5664.55000  22352.00000
  5664.60000  23097.00000
  5664.65000  23350.00000
  5664.70000  23758.00000
  5664.75000  24477.00000
  5664.80000  25045.00000
  5664.85000  25207.00000
  5664.90000  25811.00000
  5664.95000  26457.00000
  5665.00000  26609.00000
  5665.05000  26574.00000
  5665.10000  26421.00000
  5665.15000  26399.00000
  5665.20000  26174.00000
  5665.25000  25450.00000
  5665.30000  25052.00000
  5665.35000  25481.00000
  5665.40000  24592.00000
  5665.45000  23859.00000
  5665.50000  22912.00000
  5665.55000  22775.00000
  5665.60000  22028.00000
  5665.65000  21588.00000
  5665.70000  20760.00000
  5665.75000  20508.00000
  5665.80000  19991.00000
  5665.85000  19245.00000
  5665.90000  18807.00000
  5665.95000  18757.00000
  5666.00000  18607.00000
  5666.05000  18271.00000
  5666.10000  17433.00000
  5666.15000  17337.00000
  5666.20000  17510.00000
  5666.25000  16945.00000
  5666.30000  17227.00000
  5666.35000  17200.00000
  5666.40000  17456.00000
  5666.45000  17239.00000
  5666.50000  16964.00000
  5666.55000  17030.00000
  5666.60000  16708.00000
  5666.65000  16164.00000
  5666.70000  16284.00000
  5666.75000  15907.00000
  5666.80000  16021.00000
  5666.85000  16321.00000
  5666.90000  16428.00000
  5666.95000  16269.00000
  5667.00000  15938.00000
  5667.05000  15835.00000
  5667.10000  15909.00000
  5667.15000  16074.00000
  5667.20000  16441.00000
  5667.25000  16540.00000
  5667.30000  16452.00000
  5667.35000  16585.00000
  5667.40000  16388.00000
  5667.45000  16248.00000
  5667.50000  16318.00000
  5667.55000  15961.00000
  5667.60000  16681.00000
  5667.65000  16244.00000
  5667.70000  16581.00000
  5667.75000  15958.00000
  5667.80000  16691.00000
  5667.85000  16365.00000
  5667.90000  16742.00000
  5667.95000  16250.00000
  5668.00000  15904.00000
  5668.05000  16333.00000
  5668.10000  15738.00000
  5668.15000  16648.00000
  5668.20000  15897.00000
  5668.25000  16337.00000
  5668.30000  16234.00000
  5668.35000  16296.00000
  5668.40000  16219.00000
  5668.45000  16289.00000
  5668.50000  16222.00000
  5668.55000  16033.00000
  5668.60000  15644.00000
  5668.65000  15984.00000
  5668.70000  16317.00000
  5668.75000  15829.00000
  5668.80000  16108.00000
  5668.85000  16043.00000
  5668.90000  16349.00000
  5668.95000  16199.00000
  5669.00000  16356.00000

