[Info]
Number of Regions=0001
Version=1.2.5

[Region 1]
Region Name=O1s
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[Info 1]
Region Name=O1s
Excitation Energy=0
Energy Scale=Kinetic
Acquisition Mode=Swept
Center Energy=5418
Low Energy=5408
High Energy=5428
Energy Step=0.05
Step Time=200
Detector First X-Channel=1
Detector Last X-Channel=1064
Detector First Y-Channel=1
Detector Last Y-Channel=1000
Number of Slices=1
Lens Mode=Transmission
Pass Energy=200
Number of Sweeps=3
Spectrum Name=O1s
Instrument=HEA-4MS249
Location=SPring-8
User=BL15XU
Sample=n-Si_002
Comments=2009B;PE=200eV, TOA=60deg;RT, c0.5mm;ID24.4 ADC
Date=2/1/2010
Time=2:30:08 AM
Time per Spectrum Channel=279.2

[Run Mode Information 1]


[Data 1]
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