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無機材質研究所

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[無機材研ニュース第52号](https://mdr.nims.go.jp/datasets/43b48f73-b74a-49e1-ba59-d1f121446d8b)

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無機材研ニュース第52号~; O ~, ~, E Q) ,~ ~, O C = O ~: O = ID O ,~ Q) O~ COQ) O ,~ = ,~ = O ~: ,D O = ID O ID = ,U ~ O ,1: Q) O O ~, ID Q) ~, O ~, COo E Q) :!:: ~ ~ J::.-Cl) ~ Z Lh O Q) CO= O ~ H "~ ~~ ~~ :/ ~~* ~~~~~~ ~1~rJf*~/~1~'"<~ rLIC v> ~ ~f4 ~~~ ~ l~~~:rf,~*,*** ~~~ ~ ji~~~i~~~iP*"~~~rET~~!~~,･~7~~~t.'tt~~]~> ~)~?t,1~~) ~. [~~) )1i~~~ i~rF)J 5 )~~irl{~J.~l, ?*~: I ,300 ~L~.Ji.1C*~'l) if ~ ~~, ~ ~~i~~~+'~i~=~-.~~ v+ ~ ~~~~*+f+~~~~J*~~~='*~~!~~;~ L C ~ y ir )~, ~Tl~)~ I ~:~~~~ ff~~*~tL~ ~))fr~~1 I~~~ir,~d~~: ~~~~"f~*~~~~u~l~tL~)[I~~~:~~)fj~~~~~~) ~ , ~ ~~1~l~ ~ a) i~~~;~~) J~~.-, iC~ ~ > C ~~;~~t ~) . ( I )H;i~~~~~:;~: ~J I I~f~~~~,f~~ ~7 4 ~~~ ~ ~A~i~?:~*'<#~;~ ~ ~ / ~ )~ * " ~!~*'r~~*~{~(7) 5.4 7i~~r~l:hit~;1~~~~~~]~~~ ~ ( Strong and Hanneman 1967). 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(100) D~~!~~,/t~~f4.~~}_ ~ ~l:!~~ ~ #~fAT_~f4 t~~ ~ ~l[ ~~ 1’壇11㌧柵OK■m■　　罧　　　　距fi1800工75017001650■ 172呂「くπllπ　1・一16石7咀KlM－d」一一一『ト　　　ー　166ゴKlNi一罧i　　　　　　541く111o o．1 O，2 o，996．o．9970，99呂o．9991．o0.996 0.997 0.998 O 999 1 O l 740*K (1) N i¥ rOl¥1 I'l{AC'I'lO~' CA]{]~O~' c ~] I ~ ･) ir)~- ~~~a) 5 .4kb [c ~~5 (t ~~~~~~~l 特徴的にあらわれる。その他，まれに（110），（311）面もみられることがある。色は無色，黄緑色，黒色などさまざまであるが，大椰分の締晶に黒鉛あるいは金属溶媒と思われる黒い包有物がある。この黒い包有物は結1晶の中心から放射状に〈110）やく100〉の方向に集中していることが多い。この膜成長法によって生成するダイヤモンドのサイズは大部分0．5㎜以下である。合成時闘は5分もあれば充分なので現在砥粒川として工莱的に犬量生産きれている。しかしながら膜成長法では長時間かけても1㎜を越えることはなく大型結晶を造る方法としては不適である。大型結晶を造るには次の温度差法が用いられる。　12〕温度差法　図1，ニッケルー炭素の状態図からわかるようにダイヤモンドの金属溶媒に対する溶解度は共融点以上で温度の」二昇と共に増加する。この温度の違いにより溶解度差が生じる性質を利用してダイヤモンドを成長させる方法が温度差法と呼ばれるものである。この方法では図4のような試料構成にする。金属溶媒の上側と下側に温度差△Tをつけると高温側での溶解炭素の飽和濃度は低温側では過飽和となる。したがって高温側で溶解した炭素は低温側でダイヤモンドとして析1出する。実際，図4のように高温側に原料となるくずダイヤをおき，低温側に種結晶をおくと，くずダイヤは溶け種結晶が成長する。この温度差法によるダイヤモンドの育成条件は米国のGE社の特許によれば，温度1，350℃～1，430℃，圧力5．5～5．7万気圧，温度差2C－30℃が適当とされている。この条件で種結晶．トに新しいダイヤモンドは一時間に約1mg成長し，時間と共に大きくなる。G　E社では一週間かけて5la〕実験前　　　　　　黒鉛　　　　　　金属溶媒膜　　　　　　タイヤモノド　　　　　　金属溶媒tb〕実験後mm程度（糸勺1カラット）の結紬を得ている。この辛吉1黒は包有物はなく透目月で宝石級の品質をもつものである。不純物を適度にコントロールして無色のものや黄色，青色の結晶も得られている。　当所では最近，この温度差法による結縞育成実験を始めたばかりであるが，現存まで約2㎜の納品が得られている（写真5）。この写真で小さい方は1．5㎜である。双方とも（111）面の大きく発達した結晶で，他に（311），（11O〕面もみられる。結晶表面は結晶成長時ヨ温度冷却時の状況を反映した複雑な構造を示している。色は無色であるが，包有物を含み，また埋め残しの空洞やクラックがあるため不透同月で黒くみえる。このような点でまだ良質の結晶ができたとはいい難い。今後，高品質の結晶を得るために次の諦点を検討する予定である。l1曝適の温度，圧力，温度分布を求め，これらσ）条件を　長時間，安定して維持すること。〔2漣当な金属溶媒を選ぶこと。13〕結晶が種結晶」二にのみ成長して他の場所に核発牢がお　きないようにすること。14〕種結晶が逆に金属溶媒に溶解して消失しないようにす　ること。　これらの問題点を解決すれば，高品質の結品が再現1生よく得られると思われる。結晶の大型化に関しては，現在使用中の25φベルト型装置では高圧容器のサイズからみて，最大3㎜程度の緒晶が限界と思われる。更に犬型の結晶を得るためには，より大きな高圧発生容器の開発が必要である。くずタイヤ（炭素源）金属溶媒図2　膜成長法の試料構成模式図ら．図3　膜成長法による合成ダイヤモンド種結晶図4　温度差法の試料構成模式図2理榊図5　温度差法による合成ダイヤモンド12〕チ ヨクラルスキー法によ る酸化物単結晶の白動育成　チョクラルスキー；丑（Cz淡）は融液から結1｛’…1を1’三主1牽云しながら弓1．］」二げるので，l1竈’1転弓1．．．I二げ法とも呼ばわ」ている。もともと，f獲融．1気金鰯やイオン織占高の嫌紙寮1都」覧にll＝1いられてきたツフ法であるが，1950年代1二，ゲルマニウムやけい薬の…1｛導熔繍■葦害iσ）脅1j更に応j」円されて五コ、来，にわかに繍胱をあびるようになった亡特にヨ）aSllが，猟γ11i）aSllneCkと1，乎ばれるプ了淡で，無牽云位の趨1婁1純度締■霧，をつくることに成功したのは鰯輿周自勺な成築であった。以後，半導体二r二業の一種、遼な遼展に伴い，よケ）大型，より完余な繍総を安棚に擁す共する，という方膚1でCz法の披諦豆ば逃厘婁してきている。現辛1三では藤〔後10cmのSij蒋繍■寮，が．呈｝ξ産されて，12－5cm径のものが’炎j＝1」1化きれようとしてい’る。また，繍プ〕寸ヒ，｛写易証悩≡σ）1倉】．．1’二を1溺るた材）の政径ピ≡1壌力窮1」子珪1］被術も完破きれているo　このような披術の淀堆婁σ）隆には，炉の設11＋法，るつぼσ），彦二1犬，ソ（きさ，力11多熟プブ浸…，弓1．．．1二三韮』変，春、与1苧；11…i」1車云j塑』窪，榊’l1剤波方倣寒軍にっいて，繍密な注慈が払オ〕れてきた。　Cz；玄が酸化牛勿娘繍1；も育成淡として，．1’二薬チi勺に刷jl」1きれ始めたのは1960利三～茗f三判≒で，’・1三としてレー’ゲー円に侠川された。この！三1灼に洲いられた締I賓1としては，CaW04，CaM04，Cr＝A】2（）3　（ルビー），Nd：YAG雛があるo1970年の辛刀ぜ）になって，　酸fヒ牛勿の・言三饗な川j途は」光’芦材料から靭…しい’1三3塗に不多手fし女台皮）たO　この靭…しい川ヨ途｛ま簑置r1．一1’二’薬の猪膿1二よって’1…じたもので，禰々の一1・竃・ア・デバイスの基板（Substrate）辛梢…：1・としてである。こうしたjlヨ途に刈’1いる；二は，締≡界，を安｛漸に推f兵するこ＝とが」雁饗で，より次三鯉の雌締［界1を総…斉チ1勺に育1」災することが饗求されるようにな・」）戸二。これ｛圭，　’卜之尊｛体寿占1Iillの圭鈷含と粂く｝変るところがない。　’弓然σ）締梁と　して酸イヒ守勿雌寿，旨■ll…1σ）育1」吏にまゴいても，近年，に1…l1大1於において，τ農ヨ＝篠肉鋤』利1■雌110γ創同化が沽猪になっている。　寿．l11偽弓1．」二1ヂの（露力｛との・…・…’二）σ）ソフj父としてば，エリ、1…訂から言予われている，縦増鉗i勺に適1・弓な粛成条f宇を求♂）て，それに去ξづ’いて衰至成ノ｛ラメータをフ。ログラム化するオーフ。ン・ループ1i1－1御がある。これ1こ共寸して，クローズド・ループ；i1■榊の一’つの例として，1967箏に王BM洲蝪猪したADC泌がある。これは■再一薯射滞度言十によつ壬us1on　r1ngの混凄変璽力をとらえて，コンピニェータにより粛波パラメータを詰11」御するプテ武である。　このA　D　C法には，今までにいろいろな方武が溌炎されてきたが，これらは大きく分けて次の二’’二つのいずれかの繕U理に堪づいている。　m畷．嚇1（辛淋．鮎脳，又は，融液畷、！没洲　12〕光学淡（；紋催変化をi変接概察する方法）この二っのプ独の1ヰ1では，ωの1繊士法が酸化物単寿補育成には鍛も多くJ1憎いられているoこ0）藪鐙法には引上げIl］の締一祭1の剃致を嵐接1鮒奮するプヲ；玄と，逆に融液の璽」1…±の滅少を測淀する二二っの洲童がある。そして，この縞晶の策鍛主睡崩嘩が一」定1二なるように融液の瀞陵を箭11御することにより，」一・’定直後の繍■鐵が育成できる。もう一っの光学向勺方淡は，緒正寮1成長中の固液椚蔑近くの緒綴の直篠を，・光挙自勺に検実11して，…・在濠篠になるように融液の温度を責燭飾するプテ；盗で，互B　Mプヲ武はこれの変形である。　駿化物燦紹鴻のCz淡による育成の騰史的背繋は’大田糾リ、．．1．二のようで’あり，事ミ’」閂自勺に1まほ1更弔雀〕士した手支郁テとなっている。　…簑研’究戸斥でも玉97杢年畷からCz法による酸化苧勿」1終緒■縞脅成の研究が！舳台されたが，このような状況…ドにおいて，ただいたずらに絡宇1ヨ剤荻メーカーの凌を遮うのではなく，むしろ繍■祭i成長の嬉礎約な1緬の概究を孝予うのカ芋良いと」8、われた。τ生〒糸，．煉系当■琴11葦芋1渡は，葺象糸棄した糸巷一1il1事季波核術畿一の縦験と渤に纐る，いわゆる彩。人茎｛i勺な≡I都分がソ（きいf・1二11拝であ・・〕たため，r繍■餐1」育成はArtである」　という声葦をよく茎i＝にする。しかし，近年になって繍1榊荻長研究■祷や著．1；■搬郁波披術諸’簿によって，融液からの納舳」吏長機朽等を王哩角奉して，良質の寿占！祭1を下専王箆例…よく育紋する一条f宇を泌定しようという概究がなされつつあるoこればとりも滋さず，縞［黎1成侵を科学の分里予にもっていこうとする動きで表）る。　こうした洲剛二；…＝｝って破究を遼めるに■｛って璽饗なことの一・・・…っは，絨舳」災長に鑑多辮を汲ばす剤」更パラメータをとらえて，これ簿の時棚負勺変イヒを記録して，｛等られた総着11の繍密な言乎側iと照含して，剤淡条f牛と繍［1≡高の晶質とのllllの香目閥閥係を1リ’1らかにすることである。これを爽行す　　　　　　　　　　　　　　　　　＾O「10　　　　　1〕］O『r＾≡一　　　　　〇1蠣舳＾’≡’o旺　　　co討T1柵i－i，El…　　　　　　　　　　　　　　　　｝，＾討u＾1．　　　　　＾卍＾ヨ、ooU聾図1　酸化物単結晶育成彗1上装置のブロック図131るには，データ集録装置を備えるこくと，必饗なキャラクタリゼーション枝術の確．1γである。次に，再現性の良い結晶を得るためには，やはり名人芸的な部分を無くさねばならない。したがって，自動育成法がどうしても必要となってくる。これは工業的生産のうえで，ローコストを目的としてきた今までの白動化とは異なり，基礎的データを集積するうえで，再現件を向土させるために必要となった自動化であって，あくまでも・結晶成長過程の解明を目的としている。こうした目的を実現させるために汎用ミニコンを用いた酸化物単結晶引⊥用データ集録白動制御装置の試作を行った。直径白動需1」御方武は，結晶重量測定方式を採用した。この方式を採用した理申は，酸化物単結晶の場合，一・1般に高融点のものが多く，f呆温を良くするために，るつばの回りは耐火材で覆われるので，光学方式の採川は難’、■三があるためである。結■幕1重量方式は融液重量法に比べて次のような利，れがある。11〕結晶重量を直接測定するので，余分な風袋がないため感度が高い。12〕高周波浮揚力を考慮する必要がない。；3炉体を浮かす必要がない。一方欠点は，結晶を呵転しながらその重量を測定するので構造が複雑となり，回転雑音の混入と遠心力により兄掛けの重量が変化する，等がある。一般的にいえば，大型結晶では，緒晶重最法が有利とされている。　結晶重量測定には通常の酸化物引．．卜装置を改造・して，高感度（感度O．01gr）の半導f本ロードセルを取りっけた。結品直径の詣1」御は，高周波発振機の出力を変化させることにより融液の温度を上下させて行う。装置全休のブロック図を図1に示す。この装置の特徴は，手動，自動の切換，またアナログ制御方式，ディジタル制御方式の切換，等が簡単に行えることにある。現在はコンピュータで制御できるパラメータは発振機の出力だけであるが，将来は，回転数，引ト速度，ワークコイルの位置，雰囲気ガスの流量，等の制御も計1珂中である。これにより，結晶育成中に，固液界面近傍の温度と液中の温度勾配を可変することがある程度可能になる。最初にこの装置を用いて育成した結品はニオブ酸リチウムであ乱この結晶は千動で引上げるときには，直径の詣1」御が比較的難しい結晶であるが，直径白動需1」御法を採1二月したことにより，容易に育成できた。図2に育成結晶の一例を示す。引上軸はC軸である。次にイットリウム・アルミニウム・ガーネット（YAG〕を育成した。この結晶は融一1＋：可が高く（1，960℃）白金るっぼが使えないので，直径50㎜，高さ50mmのイリジウムるっぼを用いた。引上軸はく100），く11O〉，く111〉，〈211〉等を試み，更にC・，Fe，Nd，Ni，Co等のイく純物を添加した結晶も育成した。図3に，育成結晶の…例を示す。写真の結晶の底音11には，気泡が入っているが，これは融液の残料が極めて少なくなったためである。　このように直径白動制御法による，結晶の白動育成は種付け後の肩出しから，直胴部においては，アナログ方式でも，ディジタル方式でも比較的簡単に実現可能である。この両方式ともにf走来から良く使用されているP　ID方式のフィード・バック制御を行っている。この方式は簡単であるので広く用いられているが，結品育成過程のような複雑な過程ではあまり良い方法とは考えられない。この育成系においては，むだ時間，時定数ともに数分のオーダーであり，しかも時閥と共に変化するので，安定な最適制御は困難になることもある。したがってこの方式で良い結晶を育成するには比例ゲインを小さめに設定して，直径の緩やかな変動を許容し，発振機出力変動を極力抑えることである。現在，新しい制御方式を試行しようとしている。これは統計的推測理論に基づく，ダイナミック・プログラミングによる最適制御方式で，これによりミ・二・コンピュータの利一点を充分生かせると考えている。　最後に，結晶成長過程の解明には，結晶の評価（キャラクタリゼーション）が非常に重要で，その結果の育成へのフィード・バックが不τiT欠である。図2　ニオブ酸リチウム（LiNb03〕の単結晶蜜図3　イットリウムアルミニウムガーネットの単結晶14〕S　IALON の偽多形図1　β型窒化けい索 図2　酸窒化けい素 図3　窒化アルミニウム　強い耐熱衝撃微と小きい烈膨脹率などの優れた磁熱特作をもっ二ニューセラミックスとして，搬近盛んに研究されているものにNitrogen　Cer劃m1csと称される耐熱1〔薬材料の分野がある。A州，Si3N4，及びこれらから派‘・1三する複含材料がそれであって，その［f］でも特にSi3～一Si02－A1203－AlN系の縦成からなる糎含材料を11，各してSiALONと称する。これは．1・二言己のイと学舳」災i手1のSi，Al，0，Nの1側元棄責已潟・をまとめて簡略化した呼び孫である。　ところでMtrogen　Cor齪m1csσ）銘本構遺は，璃…駿塩釜広物のそれと奥く似ていて，珪酸塩のSi041町獅f本の代りに（Si，Al）（O，N）〃唄1繭体が，一…次允，二ニニ次元，二1三次元に連繍する構造となっている。例えば卿玉には，β型窒化けい素（β一Si3～）の締1榊溝遊カ守示されている。素撃丸のSi欄子ば4個の≡‘・1丸のM察一了・に［凋まれてSiN垂1ア［li繭体を作り，各N1藁・γは3｛鰯のSi豚了・と繍含し，SiN41鮒緬体が三三次允に連緒してその繍■界1構：萱を納み二炊てている。i灘2には駿察化けい棄｛S12N20）の縞1釜1構造が氷されている。この場含，斜線で示した纐子は酸素であり，S“獅緬体の■キIの王個のN原一了1が1欄の酸素によって綴換されたSiくO，N）4ロー1繭舌本のj韓構遺を成している。そしてSi－O－Si緒合によって，これらの1鰯が亙いにj平行に連繍されている。1ヌ13は窒従アルミニウム　（AlN）の構遼であり，翼茎丸がA1嫌・一r，1‘1丸がN’察一・デを表わしている。この場含はAlN、吾1一日櫛休が三三次ラ亡に連繍してその繍■篶1構造を継みllアてている。　AlN系Si齪1onの場含，AlNのウルツ鉱型構遼を基木として，その一・’榔分のA1畷・二r一がSi煩・二7・によって綴換きれ，それにより｛1三じる遜気11勺不均衡を取り除くため一…榊のN原・・了・が酸剰璽子によって綴換されるという現象が起こってくる。この場含，Al；＝＝S1，NごOの綴換鍛に応じて緒I票ヨ車■1ヨa，b方向での’変化はほとんどないが，c車曲方向の周期においてば種々異なった襯が現われてくる。これらcM／X　　　tyPe　　　　　a　　　　　　c　　　　　c／n　4／5　5／6　6／7　7／8　9／10〉9／10　1／ユ8資15R12H21R27R2Hδ2H2．9883．OlC3．0293．0483．05富3．0793．1ユ423．C24玉．8132．9157．1971，985－304．9862，882，792，742－722，672，652．49図4　AlN系Sial㎝に現われた偽多形の格子定数革曲方膚1に種々異なった彼をもって現われる各棚はRamsdellの記号で8H，15R，玉2鮎，21R，27Rと表記することができ，それぞれの楕二子・定数の徽は図4に添きれたとおりである。この表におけるM／Xという倣は金属原予（M）対非金属降了・（X）の比薙であり，（Al，Si〕／（N，O〕の鰹に欄峯妻する。c／nというのは，c車111方1殉の平均化された単位馴馴轟を表わしている。また，これらの各ヰ1弓の存律しf季幸る孝ヒ箏継成．．皿ヒの領域は図6に示されている。純粋のA州はMX欄（っまりA1M轟）のみからなり，それがc車曲方1青1に璽．なり含ってウルツ鉱型構遺をなしている。したがってこの端含，M／Xの比率は1／1である。次に，このAlNの9煽の内から一・1綴だけがMX2麟によって綴換されたとすると，M／X比率は9110なる。これが27R型と称される禰である。このように順次MX禰1牛の一・・…一椰分をMX2麟によって綴換してゆくとき，その綴換鍛に応じてM／Xの液が非連続向勺に変化し，1／1，9／1C，7／8，6／7，5／6，4／5のf1直を奴り，それぞれAlN，27R，21R，12H，15R，8H型の各棚を彩波する。この現象はSiCとかZnSなどに兇られるところの単一種類の繍層の欄み重ねによりξ仁じる多彩現象（polytypism）に類似しているところから，先行研究者によりSialo口におけるポリタイプの±上11現と解釈された。しかしながら，SiCなどの単一一；5〕種類の煽繊遼によって｛圭三じる多形の端含には、繊1簿数nが変化してもその化学継1」党はどのポリタイプについても一産であるはずである。しかるにこのAiN系Si昼1onの蝪含には1渕4にても日月らかにように，M／Xのf1直っまつ縦成比が榔欝数の変化に応じて変っている。したがって厳密な意昧では，このAlN系Sialonに現われる各棚はポリタイプではなくて，偽ポリタイプ（pseudo　po　lytype）又は主毘台一J鰯楕簿三萱（n1…Xedlayer　StruCture）　と華糸したプテが1三I三しい呼び名である。　さて，ここでAlN系Sialo11のMX欄及びMX2嬬の秘み璽ねの可能な方法についてり、下に略述する。AlNはその全ての原二rが0，0，Z；2／3、三／3，z又は1／3，2／3，Zの華曲、．．」二に狩在する。そしてこれらの輔．．」二のf斌…董をそれぞれA，B，Cと表示する。AlNをAl～卿痂体の稜み重ね構蓬と箆なすとき，この四磁体の印心にA1原一了・がくる。そしてその真上の3／4x÷Aのところに（ここでCは繍I嚢1単位胞のC牽曲の浸き，nはその穫煽数を添す）必ずN原一了・が存復するので，金属原ニア・｛M）の位綴を大’文1亨1のA，B，C，で炎わし，その輿、i二／又は莫下）にくる非金滋瞭一’＝r・（X）の位綴を冊，b，cで表氷する。これによってAlN系Sialonに現われる偽ポ1jタイプの’…簗・’了・の位．綴を棚f璽に表示することがi’r能となる。例えば，6鐵烈にっいて可能な機熈櫛遺を氷すならば図511〕，121，13〕の三三逝りのモデルが袴えられる。　ここでアンダーラインを引いたところは閑双銚捻広型に＼1、ソパぐノノ父ほ〕号BリーPB今一un1teo喧il　→1、、、“㍗・　　纈♂b　o　詞ピc　b1＼ふ／、＼／！！！ふ／1刎；“凹13n≡te　ooH　　｝　1　　a註’ba　h　o　b　囲1・〕1，Y㍑㍍　　　　一舳田。喧il＾1　　　　　　　図5　6H型欄騰構造の例　　　　　　　　　　　　　　　　　　a　　　a原一了・が禎煽したところである。また　＼A／　と言ビされているのは，AlN系Sialonの1祁分㈹に人るMX2畷のことを表示したもので，aはMの奥．1二に人ったX原・了一，a’は奥1FにくるX原二r・を添している。この炎言己法に従うと，どの位灘のMX層がMX21溺によって綴換がτヨ丁能であるかということが一・」兇して辛1搬」できる、、具体例で説…1月すると，；渓15ωのモデルの場合，M原一ア・がCの場含にMX2煽が置葦漱しているが，もしMl…頁・γ・のAのところのMX欄をMX2櫛で綴’換すると閉5百4）のようになる。っまり非金脚頚・・ア・Xの蕃餓尋構遼のIヰ1に乱ぺで示されたような1賛1じ位綴のも0）が〕墾続することになる。これは穫燃構遊上蕎午されない倣綴であり，したがって図514〕のようなモテ“ルでは，Aの位灘にMX2繍が綴換できないことがわかる。このようにしてSialon偽多形の秘燃構遊を予渕することも…iT能となるOSi306 毛X3（3A1203．2Si02） AL069・87　　　　　　5　　　　　　4　　　　　　33ソ；Si2N20　　　　　　2　　　　　　　1β！紗磁魁、、　石紗抄％（3A1203．AlN）％（AlN．A1203）Si3N4 1　2　3　4　5　6　7　8　9　A14N4図6　Si3NドA州一Ai20rS102系の欄平衡関係図（6〕外部発表※　投　　　稿魑 纈 発　　表 書 掲 載音土纐心等Hot－pI・e昌彗ingof亡h邊AlN－A1203S｝’≡≡tem 酒搾　利和 窯，薬協会誌 86 3 125｛1978）酸繁分圧を籾1簡］して測定する熱天秤の製維 艶村　脩澱 濁f本物王翌 13 2 l05（1自78〕T11僅rmodyn目m1c　Propertie昌of　Fe一訂＿antト乱mid－O　Compounds 獲 敬・機根利守・北山 J． Solid　State　Chem． 23 43at　Hi匡ト丁但mpemtu】’e畠1」・一一］1［1］ 杉僚一怒一饗壕昇 ｛1978）新魏アルミナ自金触媒の製燈法 腹人 石滅1と石浦化掌 21 13 70（1977）Tr1bop～冨ic田1P冊paration　of　Ai203－Pt－Pd　C齪t齪1｝・st ］．ll1二1　拮焚人 J．C目tal． 50 541 （1977）Gro“・tト刮nd　ProPert1直昌of　Strontium　Cob品1t齪te　S1ng1僅 武縁　文彦・繊1ヨヨ｛二二J．Mater． Soi． 13 519 ｛1978）Cry畠ta1昌 波辺　　渚・遜藤 弱Studie畠on　C刮ScAlSi06－P｝ro雌ne 大橘　詞許炎 J． 」apan　A畠畠oc。 Min． P直t．Eoon． Geol． 73 2 58 く1978AlNの焼繍と熱伝蟻拳に及ぼす不純物鮫繁の効一粟 瀬焚　芽1j和・剰1」 π．珂月 窯薬’脇会誌 86 垂 17室 0978）火飼　　隆・木脇 棚AHigトVolt囲g但E1哩otronMicrosooPeCon畠tructedfor 堀内　繁燃・松井 良炎 J． E1哩ctron　Mioro菖c． 27 10b畠邊rving　High－Re彗o司ution　Cry畠t齪1Structure　Image彗 板’策　幾雄・男券困 禎治 39 （王978）Nuolear　Ma呂netic　R哩畠o旧刮noe　of　HB1n　Cl・B2松稗　　功北1瑚　良雄・安i瑚 弘志 Solid　St且t田Commun．26 2魎中 石沢 芳爽87 （1978）く1978）※　口　　　　頭趨　　　　　　　　　　　1ヨLaO．8C呂O．2Mn03＋｝の言駐気伝灘R僅03［巾の！三易篭一箏消滅邊B品○Ti03中の鰯遜二王Iの寿命Xα＿SW法による［吸瀞蟻子の遜二戸秋態マグネシウムを含む激化蔓亘鉛の鮫繁禽已拡敵係数ぺb205－W03系化余等勿における短是巨雛繊輿■』度の璃；分解能爾獺像Lu2F哩307の確妾傲α一リン駿カルシウムの水奉腋応過程L刮B6の低温に於ける猶…磁土場磁気級抗口LaB6の比熱ヒリジマイトの変葦隅看溝蟻言置ニアー茅壌貝竈易寸し戸こ雀失の芦湯1匿一工升美芋i翁｛ニフ更ほ＝づ1凄書勢葦σ）轟多睾嬰船1犬アルミニウム．．トでの駿化物破災Structur僅Sen畠it｛ve　o■｝呂但n　diffu昌≡on三n　Poi｝cry昌toH｛neMgOシリコンイミド｛ヒ含字勿の加1棄冬チ｝角翠艦温含波Zr02－A1203－Si02系到㍉竈1望迂丁本の繭すアルカり1咋毎毛＃誇　一奇麦詞苛と王…豊姜喬一Zn0のエッチング橡とそのカ1燃’変化BeO粉來の焼結遡穫における彩；1犬変化のi度接襯察N．i．R．一．Mにおける破究の環状AlN－A1203系焼縞体の強度0xygen　Diffu畠ion　ch固r砒teresti舶of　M伍ta10x1d舶S｝・昌tem昌DoPed乱nd　UndoPedMg0におけるjl1云｛立ARecentDevelopm直ntinBasicScieno僅ofPo］ycryst囲11ヨn硅0xid舶熊准産Tl・idymiteのカロ熱変fヒ駿繁一プロパン小茎襲トーチを搭1繊した1竃椴プりセッションカメラIn－SiTuの鰯渕を；ヨ灼としたX搬！蔓］析システムルチルji乱総■寮1の一1苓1棚変化で皿）発　　炎　　者1＝邊1和　瀬二＝・棚村　　繍月薮予薬　　　　赤羽　隆史享翠蘭　　一1’鐘鄭圭滅鰯　」錠燃・赤蔓蔓南　イ；二二雄・濠厩1燃雄創碕　f薫…・・守書　燃介ヰ木　　　確爾　・．．丘寺至　　培赦聴室鰯木　栄久堀一内　　繁垂駕・才†松松於　奥爽・椴策　幾雄牒川　務一三・蝦11コ　幸壇力金沢　拳又・梅垣　繕1士1Hヨ閥　　蓼茎義員・内1吾i　尚蒙隻石沢努爽・1壬陣　蔦秘叛内　　英典・河余　　・一ヒ雄沓本次一・…郎・祈チ1・　系已デ髪±坂内　　英輿喜・狗派　　ラ芋夫…ヨJ含…ヒ雄・藤冒ヨ敏三、繍谷　忠磐］」水旧召二1、・焚耕籔召彦蔵元　英一・北．1謡　一・・一徽乎繋　　奉1jチ薫・溝＝日≡1　『一鰺瑚£大±辰　敏H月・毎畳里予　災一一翻撒　　｛慰二、・叛；．l1　緯」ヨカ笥：書　　f指プポ・羽冒ヨ　　要餐牧潟　兇勢木島　　ぺ｛翁牧，1謡　兇箏；・小谷　　矛1’1爽≡瞥桑　　目蓋爽・下平鵜次郎下j平譲；）欠郎｛藺テ牛　ネlj鷹］1釧奇守書　チ壬1介舳1奇王斐邦　臼習彦バ1＝1沢　弘妻蔓稗．ト縛■1負11・糊没　吉．．ξ宋重子璽萩・C．T．Pr侶witt鵬後癸．禰媛　脇亘轟水　　」糞去箆・大±薮　ラ茅螂平　協会喬一書1三1本物王聖学会1ヨ本物王黎学会1ヨ水手勿王望掌会1ヨ本物三撃1掌会11ヨ本化小会l1ヨ水物王聖箏会1ヨ木牛勿王黎づ…ξ会11ヨ本促｛葬会日本＃勿葦翌’芦会［＝1本物王黎1…芦会1林物王曜1鹸［ヨ漆室室鰯．f一会Eヨ木金毒鴛べ芙会USAセラミ・ンク協会8帳套窯災†筋会窯’業協会窯薬協会窯1裟協会窯薬協会U．S．A．マサチ．ユーセ・ソツニ百二弄斗大11斧粉体粉刺台金協嚢U．S．A．ユタ犬一f・窯業・脇雀葦丈、㌶三㍗㍗㍍ア1林鉱物1簑会［’1准鋭：キ勿・戸雀ミ」ヨ本金広字勿考ξ会1ヨ本釜広卑勿’斧会発・表［i4戸1ユ互ヨ4同1［’14嗣11ヨ在芦ヨ】三］4戸コ王1＝ヨ4周21ヨ追閃2■二’ヨ4戸ヨ2≡一ヨ4’≡ヨ3■＝ヨ4戸13114’司3［14戸ヨ4■＝ヨ4戸】6［15∫’＝ヨ91’15’三］9［．ヨ5｝」ヨ王O［’i5∫≡ヨ王O［ヨ5戸ヨ1O臼5∫ヨlO≡’ヨ5戸］17臼5戸ヨ18■’｛5戸］24三］5周26至］5戸］30iヨ6芦ヨ61’16戸］6≡’ヨ6J＝ヨ6116月8臼／7）プルッカイト及びアナターゼからルチルヘの転移のエンタルピー三橋武文・O．J．K1僅ppaBi4Ti3012の低温におけるX線回析・誘電　　　　　　　　島津　正司・村松　国孝　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　三橋　武文・江原　　衷　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　±反音旧　　手子左珪」日木鉱物差会□本鉱物乎会★M　E　M　O★運　営　会　言義　5月22日，第71回運営会議が「長期計固について」の議題で開催された。研　　究　　会　炭化ジルコニウム研究会（第1回），5月91」，　「高輝度電子源と表面物性にっいて」の議題で開催され，討論が行われた。　不定比化合物研究会（第22回），5月11日，　「欧米における化学輸送法の研究の現状について」の議題で開催され，討論が行われた。　結合状態研究会（第11回），5月12日，13口，「YF0204の中性子回析について」の議題で開催きれ，討論が行われた。　結合状態研究会（第！2回），5月18H，19口，「酸化物の触媒作用にっいて」の議題で開催され，討論が行われた。　不定比化合物研究会（第23回），5月29□，「最近の高分解能電子顕微鏡による研究について」の議題で開催され，討論が行われた。　ガラス状態研究会（第16回），5月29□，　「ガラスの材料設計にっいて」の議題で開催され，討論が行われた。　高圧カ研究会（第！8回），6月19H，　「偏光顕微鏡の応用につし；て」の議題で開催され，討論が行われた。　高圧力研究会（第19同），6月23口，「ABOヨのガラス状態と高圧物性にっいて」の議題で開催され，討論が行われた。　ガラス状態研究会（第！7回），6月29口，　「遷移金属酸化物含有リン酸塩ガラスの電気的性質にっいて」の議題で開催され，討論が行われた。海　外　出　張　第1研究グルーフ。総合研究官，白崎信一は，口韓科学技術交流の一環として，電丁セラミックス材料の共同研究打合せのため，昭和53年4月9日から12円まで韓国へ出張した。更に，第80回米国セラミック協会年会出席及び米国における無機材料に関する研究状況調査のため，昭和53年5月4□から6月2日までアメリカヘ出張した。　第4研究グループ主任研究官，堀内繁雄は，第9回電子顕微鏡国際会議■Ψ1席及びアメリカにおける無機材質に関する研究状況調査のため，昭和53年7月31日から8月20日までの予定で，カナダとアメリカヘ出張した。　第10研究グループ総合研究官，島津正司は，第11回国際結品会議出席及びイギリスにおける無機材質に関する研究状況調査のため，昭和53年7月3ユ□から8月21Hまでの予定で，ポーランドとイギりスヘ出張した。来　　訪　6月6日，韓国工業試験院無機化学部長Do・g　S・㎝Kim機械金属部長Hae　Gill　Kimの両氏が来方して所内を見学した表　　彰表彰者名 表彰名　　　　表　　彰　　の　　内　　容 表彰年月日堀内　繁雄 科学技術庁長官　　電子顕微鏡の超高電圧加速による高分解能化の研究に従事し， 昭和53年5月19□業績表彰　　　高分解能超高圧電子顕微鏡による各種無機化合物の構造解析に多大の貢献をした河合　七雄 科掌技術庁長官　　ホウ化ランタン育成単結晶を用いた熱電子放射陰極の研究に 昭和53年5月19口田中　高穂 業績表彰　　　従事し，単結晶熱陰極の開発を行うことにより，高輝度電子銃材料の進展に多大の貢献をした発　行　日編集・発行昭和53年8月1日　第52号科学技術庁　無機材質研究所NATIONAL　INSTITUTE　FOR　RESEARCHES〒300－31茨域県新治郡桜村並1木1丁目1番電話　　0298－51－3351INユNORGANIC　MATERIALS18〕