# Fileset

[Vol.2_No.1_59-64.pdf](https://mdr.nims.go.jp/filesets/766e8fe6-dd21-4c10-8d17-c5579090013e/download)

## Creator

[Ogiwara, Toshiya](https://orcid.org/0000-0002-7376-6571), [Tanuma, Shigeo](https://orcid.org/0000-0003-2628-9941)

## Rights



## Other metadata

[試料冷却法を併用したAES深さ方向分析によるSiO2/Si熱酸化膜の分析](https://mdr.nims.go.jp/datasets/589ec16b-9f42-4095-bc13-8c4ce62ef54b)

## Fulltext