# Fileset

[HfO2-Fig12-Work-20230803.pdf](https://mdr.nims.go.jp/filesets/1a9e478e-d1d0-479a-8f89-8bfaaf9e4fe6/download)

## Creator

[OGIWARA, Toshiya](https://orcid.org/0000-0002-7376-6571), [NAGATA, Takahiro](https://orcid.org/0000-0002-8591-2943), [YOSHIKAWA, Hideki](https://orcid.org/0000-0002-7389-8865)

## Rights

[In Copyright](http://rightsstatements.org/vocab/InC/1.0/)

## Other metadata

[Raw data files for Fig. 12 Auger depth profiles in "Auger Depth Profiling Analysis of HfO2/Si Specimen Using an Ultra Low Angle Incidence Ion Beam"](https://mdr.nims.go.jp/datasets/c3a5c314-46f3-4926-9c40-b599d704d8cb)

## Fulltext

HfO2/Siデプスプロファイル研究論文，”極低角度入射ビームオージェ深さ方向分析によるHfO2/Si基板の分析”に掲載されている Fig.12オージェデプスプロファイルの Raw data ファイル荻原俊弥，長田貴弘，吉川英樹，J. Surf. Anal. 24, 192 (2018).a) のオージェデプスプロファイルは論文に掲載の Fig.12 に相当し，横軸は nm である．b) は横軸を測定回数で表したものであり，横軸を nm に変換する前のプロファイルである．Raw data ファイルは，b) に対応している．O KLLHf NVVHf MNNSi KLLb)a) スライド 1: 研究論文，”極低角度入射ビームオージェ深さ方向分析によるHfO2/Si基板の分析”に掲載されている Fig.12オージェデプスプロファイルの Raw data ファイル