# Fileset

[NIRIM0052.pdf](https://mdr.nims.go.jp/filesets/135141a1-a7f0-40ec-9c2c-a4ed9cdce5aa/download)

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無機材質研究所

## Rights

In Copyright[In Copyright](http://rightsstatements.org/vocab/InC/1.0/)

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[炭化けい素に関する研究 1987 科学技術庁 無機材質研究所研究報告書第52号](https://mdr.nims.go.jp/datasets/87b2d247-ecd4-49b2-8567-b46c33d3d520)

## Fulltext