原子層堆積法による高イオン伝導リチウムリン酸窒化物薄膜の作製

ジャーナル論文

著者

鶴岡 徹 (author) (この著者で検索)

https://orcid.org/0000-0002-4322-4309

物質・材料研究機構 ナノアーキテクトニクス材料研究センター/量子材料分野/イオニクスデバイスグループ

NIMS Researchers Directory SAMURAI

鶴岡 徹

キーワード

リチウム固体電解質, 原子層堆積法, リチウムリン酸窒化物

刊行年月日

[2025年1月]

更新時刻

2025-03-14 16:30:24 +0900