コンビナトリアルスパッタ成膜法によるMgSiSn系薄膜のナノ構造制御と熱電特性
- Conference presentation
- Creator
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後藤 真宏 (author) (Search by this author)国際ナノアーキテクトニクス研究拠点/ナノマテリアル分野/熱エネルギー変換材料グループ, 物質・材料研究機構
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佐々木 道子 (author) (Search by this author)国際ナノアーキテクトニクス研究拠点/ナノマテリアル分野/熱エネルギー変換材料グループ, 物質・材料研究機構
- Keyword
- コンビナトリアルスパッタ, ナノ構造, 熱電, 薄膜
- Date published
- Updated at
- 2024-12-13 12:30:41 +0900
薄膜材料のコンビナトリアル作製法と新規材料探索
- Book
- Creator
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後藤 真宏 (author) (Search by this author)ナノアーキテクトニクス材料研究センター/ナノ材料分野/熱エネルギー変換材料グループ, 物質・材料研究機構
- Keyword
- コンビナトリアル, 薄膜, スパッタ, マテリアルズインフォマティックス, デバイス, 材料探索, ハイスループット
- Date published
- [2024年2月]
- Updated at
- 2024-08-26 12:30:27 +0900