Fabrication of β -Ga 2 O 3 /air-gap structures on (010) β -Ga 2 O 3 by wet etching in tetramethylammonium hydroxide (TMAH)
- ジャーナル論文
- 著者
-
Takayoshi Oshima (author) (この著者で検索)
- キーワード
- Ga2O3, TMAH, wet etching, MEMS
- 刊行年月日
- 2025-11-01
- 更新時刻
- 2025-11-27 08:30:13 +0900
Surface desorption properties of hydrogen-terminated diamond detected by micromechanical resonator
- ジャーナル論文
- 著者
-
Keyun Gu (author) (この著者で検索)
https://orcid.org/0000-0002-7505-7744
(unauthenticated)
;
Zilong Zhang (author) (この著者で検索)
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Jian Huang (author) (この著者で検索)
https://orcid.org/0000-0002-1268-8899
(unauthenticated)
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Yasuo Koide (author) (この著者で検索)
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Satoshi Koizumi (author) (この著者で検索)
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Meiyong Liao (author) (この著者で検索)
- キーワード
- Diamond, surface conductivity, MEMS
- 刊行年月日
- 2025-06-02
- 更新時刻
- 2025-07-14 12:30:29 +0900
A perspective on diamond MEMS magnetic sensors
- ジャーナル論文
- 著者
-
Zilong Zhang (author) (この著者で検索)
;
;Keyun Gu (author) (この著者で検索)Masaya Toda (author) (この著者で検索)
https://orcid.org/0000-0003-3849-6948
(unauthenticated)
;
Meiyong Liao (author) (この著者で検索)
- キーワード
- Diamond, MEMS, magnetic sensors
- 刊行年月日
- 2025-03-01
- 更新時刻
- 2025-05-19 16:30:19 +0900