研究室を訪ねて
- ジャーナル論文
- 著者
-
女屋 崇 (author) (この著者で検索)
https://orcid.org/0000-0002-2710-8623
(unauthenticated)
物質・材料研究機構 ナノアーキテクトニクス材料研究センター/半導体材料分野/超薄膜エレクトロニクスグループ
- キーワード
- 原子層堆積法
- 刊行年月日
- [2025年10月]
- 更新時刻
- 2026-07-31 09:22:02 +0900
原子層堆積法による高イオン伝導リチウムリン酸窒化物薄膜の作製
- ジャーナル論文
- 著者
-
鶴岡 徹 (author) (この著者で検索)物質・材料研究機構 ナノアーキテクトニクス材料研究センター/量子材料分野/イオニクスデバイスグループ
- キーワード
- リチウム固体電解質, 原子層堆積法, リチウムリン酸窒化物
- 刊行年月日
- [2025年1月]
- 更新時刻
- 2025-03-14 16:30:24 +0900