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Approach to Low Contact Resistance Formation on Buried Interface in Oxide Thin-Film Transistors: Utilization of Palladium-Mediated Hydrogen Pathway
- 論文
- 著者
-
Yuhao Shi
;
Masatake Tsuji
;
Hanjun Cho
;
Shigenori Ueda
;
Junghwan Kim
;
Hideo Hosono
- キーワード
- oxide semiconductors, IGZO, thin-film transistors, contact resistance, palladium, hydrogen
- 刊行年月日
- 2024-04-02
- 更新時刻
- 2024-04-08 16:30:22 +0900
XAFS spectrum of Palladium
- データセット
- コレクション
- MDR XAFS DB
- 著者
-
Masashi Ishii
;
Aichi SR
- キーワード
- palladium, Pd, Pd K-edge, Pure metal, Si(311), BL11S2, Aichi SR, XAFS, collection - MDR XAFS DB, Palladium
- 刊行年月日
- 更新時刻
- 2025-05-06 19:51:35 +0900