Hydride Vapor Phase Epitaxy and characterization of High-Quality ScN epilayers

論文

著者

Yuichi Oshima ; Encarnación G. Víllora ; Kiyoshi Shimamura

キーワード

ScN, HVPE

刊行年月日

2014-04-21

更新時刻

2024-01-30 16:35:16 +0900