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Epitaxial Lateral Overgrowth of c-plane α-Ga2O3 using a stripe mask with ultra-narrow windows
- ジャーナル論文
- 著者
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Yuichi Oshima (author) (この著者で検索)National Institute for Materials Science Research Center for Electronic and Optical Materials/Functional Materials Field/Ultra-wide Bandgap Semiconductors Group
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Takashi Shinohe (author) (この著者で検索)FLOSFIA INC. - キーワード
- Ga2O3, dislocation, HVPE, ELO
- 刊行年月日
- 2025-05-19
- 更新時刻
- 2025-05-21 16:30:09 +0900