InP/GaInAsP多層膜におけるAES深さ分解能の温度依存性

論文

著者

Ogiwara, Toshiya ; Tanuma, Shigeo

キーワード

Auger Depth Profiling Analysis, Depth Resolution, Sample Temperature, InP/GaInAsP多層膜

刊行年月日

1995-05-17

更新時刻

2022-10-03 01:44:22 +0900