薄膜材料のコンビナトリアル作製法と新規材料探索

書籍

著者

後藤 真宏

キーワード

コンビナトリアル, 薄膜, スパッタ, マテリアルズインフォマティックス, デバイス, 材料探索, ハイスループット

刊行年月日

[2024年2月]

更新時刻

2024-08-26 12:30:27 +0900