キーワード: TMAH
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Tetramethylammonium hydroxide (TMAH) treatment of dry-etched trenches on (010) β-Ga2O3 to enhance trench profiles
ジャーナル論文
著者
ORCID SAMURAI
キーワード
Ga2O3, TMAH
刊行年月日
2026-02-01
更新時刻
2026-02-25 12:30:03 +0900
paper.pdf
Wet etching of (−102) β-Ga 2 O 3 with tetramethylammonium hydroxide (TMAH)
ジャーナル論文
著者
ORCID SAMURAI
キーワード
Ga2O3, wet etching, TMAH
刊行年月日
2026-12-31
更新時刻
2026-06-11 15:11:01 +0900
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