Finite Element Analysis of Interface Dependence on Nanomechanical Sensing
- ジャーナル論文
- 著者
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Kosuke Minami (author) (この著者で検索)National Institute for Materials Science
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Genki Yoshikawa (author) (この著者で検索)National Institute for Materials Science
- キーワード
- nanomechanical sensors, finite element analysis
- 刊行年月日
- 2020-03-10
- 更新時刻
- 2024-01-05 22:12:54 +0900
Topology optimization for piezoresistive nanomechanical surface stress sensors in anisotropic 111> orientations.
- ジャーナル論文
- 著者
-
Kosuke Minami (author) (この著者で検索)
- キーワード
- piezoresistive microcantilever, surface stress, topology optimization, nanomechanical sensors, anisotropic materials
- 刊行年月日
- 2023-09-01
- 更新時刻
- 2024-01-05 22:14:00 +0900