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5 件のレコードが見つかりました。
1D Crystallographic Etching of Few‐Layer WS
2
論文
著者
Shisheng Li
;
Yung‐Chang Lin
; Yiling Chiew ; Yunyun Dai ; Zixuan Ning ; Yaming Zhang ; Hideaki Nakajima ; Hong En Lim ; Jing Wu ; Yasuhisa Neitoh ; Toshiya Okazaki ; Yang Sun ; Zhipei Sun ; Kazu Suenaga ;
Yoshiki Sakuma
;
Kazuhito Tsukagoshi
;
Takaaki Taniguchi
キーワード
1D nanotrenches
,
etching
,
photoluminescence
,
second harmonic generation
,
transition metal dichalcogenides
刊行年月日
2024-10-03
更新時刻
2024-11-20 16:30:24 +0900
Formation of GaN mesas with reverse-tapered edge structures on a lattice-matched AlInN layer for a positive beveled edge termination
論文
著者
Takayoshi Oshima
;
Masataka Imura
;
Yuichi Oshima
キーワード
GaN
,
AlInN
,
etching
,
positive bevel edge termination
刊行年月日
2024-08-01
更新時刻
2024-08-02 12:30:52 +0900
Plasma-free dry etching of (001) β-Ga2O3 substrates by HCl gas
論文
著者
Takayoshi Oshima
;
Yuichi Oshima
キーワード
Ga2O3
,
etching
,
HCl
刊行年月日
2023-04-17
更新時刻
2024-05-29 08:30:12 +0900
Visualization of threading dislocations in an α-Ga2O3 epilayer by HCl gas etching
論文
著者
Yuichi Oshima
; Shingo Yagyu ; Takashi Shinohe
キーワード
α-Ga2O3
,
dislocation
,
etching
刊行年月日
2021-10-19
更新時刻
2024-01-22 09:38:31 +0900
Effect of temperature and HCl partial pressure on the selective area gas etching of (001) β-Ga2O3
論文
著者
Yuichi Oshima
;
Takayoshi Oshima
キーワード
β-Ga2O3
,
etching
刊行年月日
2023-08-01
更新時刻
2024-08-21 08:30:30 +0900
キーワード
etching
(5)
1D nanotrenches
(1)
AlInN
(1)
Ga2O3
(1)
GaN
(1)
HCl
(1)
dislocation
(1)
photoluminescence
(1)
positive bevel edge termination
(1)
second harmonic generation
(1)
transition metal dichalcogenides
(1)
α-Ga2O3
(1)
β-Ga2O3
(1)
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