9 件のレコードが見つかりました。
Depth Profiling Analysis of InP/GaInAsP Multilayer Structure with Auger Electron Spectroscopy by Using Argon Ion Spot Beam
- 論文
- 著者
-
OGIWARA, Toshiya
;
HARADA, Tomoko
;
TANUMA, Shigeo
- キーワード
- Auger Depth Profiling Analysis, InP/GaInAsP Multilayer Specimen, Argon Ion Spot Beam
- 刊行年月日
- 2011-06-10
- 更新時刻
- 2022-10-03 02:04:45 +0900
Depth Profiling Analysis of InP/GaInAsP Multilayers by Auger Electron Spectroscopy. Effects of Zalar Rotation and Liquid Nitrogen Cold Stage
- 論文
- 著者
-
Ogiwara, Toshiya
;
Tanuma, Shigeo
;
Nagasawa, Yuji
;
Ikeo, Nobuyuki
- キーワード
- Auger Depth Profiling Analysis, InP/GaInAsP Multilayers, Zalar Rotation Method, Sample Cooling Method
- 刊行年月日
- 2011-06-10
- 更新時刻
- 2022-10-03 01:53:08 +0900
Ultra High Depth Resolution Auger Depth Profiling by Both Electron and Ion Beams at the Glancing Incidence using an Inclined Specimen Holder
- 論文
- 著者
-
Ogiwara, Toshiya
;
Nagatomi, Takaharu
;
Kim, Kyung Joong
;
Tanuma, Shigeo
- キーワード
- Auger Depth Profiling Analysis, Si/Ge multiple delta-doped layers, GaAs/AlAs Superlattice, Inclined Holder
- 刊行年月日
- 2011-10-24
- 更新時刻
- 2024-01-05 22:14:10 +0900
English Translation of J. Surf. Anal. 24, 192-205(2018), Auger Depth Profiling Analysis of HfO2/Si Specimen Using an Ultra Low Angle Incidence Ion Beam
- 論文
- 著者
-
Ogiwara, Toshiya
;
Nagata, Takahiro
;
Yoshikawa, Hideki
- キーワード
- Auger Depth Profiling Analysis, HfO2/Si, Ultra Low Angle Incidence Ion Beam
- 刊行年月日
- 2020-06-04
- 更新時刻
- 2022-10-03 01:48:14 +0900
InP/GaInAs多層膜のAES深さ方向分析のラウンドロビン試験報告（I）
- 論文
- 著者
-
Ogiwara, Toshiya
;
Tanuma, Shigeo
- キーワード
- Auger Depth Profiling Analysis, InP/GaInAs Specimen, Round Robin Test
- 刊行年月日
- 1995-11-16
- 更新時刻
- 2022-10-03 01:55:14 +0900
試料冷却法を併用したAES深さ方向分析によるSiO2/Si熱酸化膜の分析
- 論文
- 著者
-
Ogiwara, Toshiya
;
Tanuma, Shigeo
- キーワード
- Auger Depth Profiling Analysis, SiO2/Si, Sample Cooling Method
- 刊行年月日
- 1996-02-08
- 更新時刻
- 2022-10-03 01:39:59 +0900
High-Sensitivity and High-Depth Resolution Auger Depth Profiling Using an Inclined Holder based on Geometric Characteristics of Auger Electron Spectroscopy Apparatus Equipped with Concentric Hemispherical Analyzer
- 論文
- 著者
-
Tanuma, Shigeo
;
Ogiwara, Toshiya
;
Kim, Kyung Joong
;
Nagatomi, Takaharu
- キーワード
- Auger Depth Profiling Analysis, Si/Ge multiple delta-doped layers, GaAs/AlAs Superlattice, Inclined Holder
- 刊行年月日
- 2016-04-03
- 更新時刻
- 2024-01-05 22:13:47 +0900
Auger Depth Profiling Analysis of FeNi/CoFeB/FeNi Specimen Using an Ultra Low Angle Incidence Ion Beam
- 論文
- 著者
-
Ogiwara, Toshiya
;
Yanagiuchi, Katsuaki
;
Yoshikawa, Hideki
- キーワード
- Auger Depth Profiling Analysis, FeNi/CoFeB/FeNi Thin Film , Ultra Low Angle Incidence Ion Beam
- 刊行年月日
- 2019-03-31
- 更新時刻
- 2024-01-05 22:13:23 +0900
InP/GaInAsP多層膜におけるAES深さ分解能の温度依存性
- 論文
- 著者
-
Ogiwara, Toshiya
;
Tanuma, Shigeo
- キーワード
- Auger Depth Profiling Analysis, Depth Resolution, Sample Temperature, InP/GaInAsP多層膜
- 刊行年月日
- 1995-05-17
- 更新時刻
- 2022-10-03 01:44:22 +0900