薄膜材料のコンビナトリアル作製法と新規材料探索

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Creator

後藤 真宏 (author) (Search by this author)

https://orcid.org/0000-0002-1003-2781

ナノアーキテクトニクス材料研究センター/ナノ材料分野/熱エネルギー変換材料グループ, 物質・材料研究機構

NIMS Researchers Directory SAMURAI

後藤 真宏

Keyword

コンビナトリアル, 薄膜, スパッタ, マテリアルズインフォマティックス, デバイス, 材料探索, ハイスループット

Date published

[2024年2月]

Updated at

2024-08-26 12:30:27 +0900