薄膜材料のコンビナトリアル作製法と新規材料探索

Book

Creator

後藤 真宏

Keyword

コンビナトリアル, 薄膜, スパッタ, マテリアルズインフォマティックス, デバイス, 材料探索, ハイスループット

Date published

[2024年2月]

Updated at

2024-08-26 12:30:27 +0900