薄膜材料のコンビナトリアル作製法と新規材料探索

書籍

著者

後藤 真宏 (author) (この著者で検索)

https://orcid.org/0000-0002-1003-2781

物質・材料研究機構 ナノアーキテクトニクス材料研究センター/ナノ材料分野/熱エネルギー変換材料グループ

NIMS Researchers Directory SAMURAI

後藤 真宏

キーワード

コンビナトリアル, 薄膜, スパッタ, マテリアルズインフォマティックス, デバイス, 材料探索, ハイスループット

刊行年月日

[2024年2月]

更新時刻

2024-08-26 12:30:27 +0900