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IPSJ-TDP0202006.pdf
材料データプラットフォームシステムDICEにおける研究データフローの構築―実践と課題
ジャーナル論文
コレクション
The history of DICE and NIMS Digital Library
著者
ORCID ; ORCID SAMURAI
キーワード
研究データ, マテリアル・インフォマティクス, メタデータスキーマ, データフロー, 相互利用 FAIR, 材料データプラットフォーム DICE, データ リポジトリ
刊行年月日
2021-04-15
更新時刻
2022-10-03 01:48:19 +0900
HfO2-Fig12-Work-20230803.pdf
Raw data files for Fig. 12 Auger depth profiles in "Auger Depth Profiling Analysis of HfO2/Si Specimen Using an Ultra Low Angle Incidence Ion Beam"
データセット
著者
OGIWARA, Toshiya (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI ;
NAGATA, Takahiro (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI ;
YOSHIKAWA, Hideki (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI
キーワード
Auger depth profiling analysis, HfO2/Si, Ultra low angle incidence ion beam
刊行年月日
2019-03-07
更新時刻
2024-01-05 22:13:20 +0900
HfO2-Fig11-Work-20230710.pdf
Raw data files for Fig. 11 Auger depth profiles in "Auger Depth Profiling Analysis of HfO2/Si Specimen Using an Ultra Low Angle Incidence Ion Beam"
データセット
著者
OGIWARA, Toshiya (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI ;
NAGATA, Takahiro (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI ;
YOSHIKAWA, Hideki (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI
キーワード
Auger depth profiling analysis, HfO2/Si, Ultra low angle incidence ion beam
刊行年月日
2019-03-07
更新時刻
2024-04-07 22:57:41 +0900
HfO2-Fig10-Work-20230606.pdf
Raw data files for Fig. 10 Auger depth profiles in "Auger Depth Profiling Analysis of HfO2/Si Specimen Using an Ultra Low Angle Incidence Ion Beam"
データセット
著者
OGIWARA, Toshiya (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI ;
NAGATA, Takahiro (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI ;
YOSHIKAWA, Hideki (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI
キーワード
Auger depth profiling analysis, HfO2/Si, Ultra low angle incidence ion beam
刊行年月日
2019-03-07
更新時刻
2024-01-05 22:12:41 +0900
HfO2-Fig9-Work-20230518.pdf
Raw data files for Fig. 9 Auger depth profiles in "Auger Depth Profiling Analysis of HfO2/Si Specimen Using an Ultra Low Angle Incidence Ion Beam"
データセット
著者
OGIWARA, Toshiya (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI ;
NAGATA, Takahiro (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI ;
YOSHIKAWA, Hideki (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI
キーワード
Auger depth profiling analysis, HfO2/Si, Ultra low angle incidence ion beam
刊行年月日
2019-03-07
更新時刻
2024-10-08 12:20:27 +0900
HfO2-Fig5-Work-20230419.pdf
Raw data files for Fig. 5 Auger depth profiles in "Auger Depth Profiling Analysis of HfO2/Si Specimen Using an Ultra Low Angle Incidence Ion Beam"
データセット
著者
OGIWARA, Toshiya (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI ;
NAGATA, Takahiro (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI ;
YOSHIKAWA, Hideki (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI
キーワード
Auger depth profiling analysis, HfO2/Si, Ultra low angle incidence ion beam
刊行年月日
2019-03-07
更新時刻
2024-03-30 18:50:38 +0900
HfO2-Fig6-Work-20230118.pdf
Raw data files for Fig. 6 Auger depth profiles in "Auger Depth Profiling Analysis of HfO2/Si Specimen Using an Ultra Low Angle Incidence Ion Beam"
データセット
著者
OGIWARA, Toshiya (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI ;
NAGATA, Takahiro (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI ;
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National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI
キーワード
Auger depth profiling analysis, HfO2/Si, Ultra low angle incidence ion beam
刊行年月日
2019-03-07
更新時刻
2024-03-30 18:50:25 +0900
HfO2-Fig7-Work-20221213.pdf
Raw data files for Fig. 7 Auger depth profiles in "Auger Depth Profiling Analysis of HfO2/Si Specimen Using an Ultra Low Angle Incidence Ion Beam"
データセット
著者
OGIWARA, Toshiya (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI ;
NAGATA, Takahiro (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI ;
YOSHIKAWA, Hideki (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI
キーワード
Auger depth profiling analysis, HfO2/Si, Ultra low angle incidence ion beam
刊行年月日
2019-03-07
更新時刻
2024-01-05 22:12:25 +0900
HfO2-Fig8-Work-20220304-2.pdf
Raw data files for Fig. 8 Auger depth profiles in "Auger Depth Profiling Analysis of HfO2/Si Specimen Using an Ultra Low Angle Incidence Ion Beam"
データセット
著者
OGIWARA, Toshiya (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI ;
NAGATA, Takahiro (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI ;
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National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI
キーワード
Auger depth profiling analysis, HfO2/Si, Ultra low angle incidence ion beam
刊行年月日
2019-03-07
更新時刻
2024-01-05 22:11:29 +0900
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