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Wet etching of (−102) β-Ga 2 O 3 with tetramethylammonium hydroxide (TMAH)
- ジャーナル論文
- 著者
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Takayoshi Oshima (author) (この著者で検索)
- キーワード
- Ga2O3, wet etching, TMAH
- 刊行年月日
- 2026-12-31
- 更新時刻
- 2026-06-11 15:11:01 +0900
Original dataset for ID 208 Ga2O3 in Thermophysical Property Database
- データセット
- コレクション
- Thermophysical Property Original Datasets
- 著者
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;Takehiko Ishikawa (depositor) (この著者で検索)Japan Aerospace Exploration AgencyMasashi Ishii (editor) (この著者で検索)National Institute for Materials Science
- キーワード
- Ga2O3, Ceramic, Density, ISS-ELF, Electrostatic Levitation, collection - Thermophys Datasets
- 刊行年月日
- 更新時刻
- 2024-03-30 18:40:44 +0900