Oxygen-termination effect on the surface energy dissipation in diamond MEMS

論文

著者

Keyun Gu ; Zilong Zhang ; Guo Chen ; Jian Huang ; Yasuo Koide ; Satoshi Koizumi ; Wen Zhao ; Meiyong Liao

キーワード

Diamond, MEMS, sensors

刊行年月日

2024-04-18

更新時刻

2024-07-09 12:30:27 +0900