薄膜材料のコンビナトリアル作製法と新規材料探索
- Book
- Creator
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後藤 真宏 (author) (Search by this author)ナノアーキテクトニクス材料研究センター/ナノ材料分野/熱エネルギー変換材料グループ, 物質・材料研究機構
- Keyword
- コンビナトリアル, 薄膜, スパッタ, マテリアルズインフォマティックス, デバイス, 材料探索, ハイスループット
- Date published
- [2024年2月]
- Updated at
- 2024-08-26 12:30:27 +0900