# 単結晶ダイヤモンドにおけるヤング率の定量評価と異方性解析

https://mdr.nims.go.jp/datasets/fb61a04d-3a57-4150-bb02-2873b2cb06db

## File

- [NIMS張兆宗abstract Liao.docx](https://mdr.nims.go.jp/filesets/0cf810e5-f709-4183-a52a-1830d22ba426/download) ([Detail](https://mdr.nims.go.jp/filesets/0cf810e5-f709-4183-a52a-1830d22ba426.md))

## Id

fb61a04d-3a57-4150-bb02-2873b2cb06db

## Local identifier



## Visibility

open_to_public

## State

published

## Created at

2025-10-17T08:07:20.677020Z

## Updated at

2025-11-06T03:30:37.546058Z

## Published at

2025-11-06T03:25:00.090101Z

## Doi

https://doi.org/10.48505/nims.5859

## First published url



## Date published



## Recorded date published



## Resource type

conference_presentation

## Manuscript type

na

## Collection



## Title

- title: 単結晶ダイヤモンドにおけるヤング率の定量評価と異方性解析
  title_type: original
  lang: ja

## Description

- description: 本研究では、SCDの(100)面におけるヤング率の異方性を明らかにすることを目的として、0°〜360°にわたって配置した「ワゴンホイール」型マイクロカンチレバーアレイを用い、実験的評価を行った。得られた共振特性の解析から、高品質SCDに対する信頼性の高いコンプライアンス定数を抽出した。これらの結果は、SCDを用いたマイクロ電気機械システム（MEMS）デバイスの設計およびモデリングにおいて、弾性異方性が極めて重要な設計因子であることを示している。本研究は、機械的特性を最適化したダイヤモンド部材の工学的設計に資する有用な指針を提供するものである。
  description_type: abstract
  lang: jpn

## Creator

- name: 張 兆宗
  role: author
  orcid: https://orcid.org/0009-0003-8745-4469
  organization: 物質・材料研究機構
  department: 電子・光機能材料研究センター/機能材料分野/超ワイドギャップ半導体グループ
- name: ザオ ウェン
  role: author
  orcid: https://orcid.org/0000-0001-8159-8195
  organization: 物質・材料研究機構
  department: 電子・光機能材料研究センター/機能材料分野/超ワイドギャップ半導体グループ
- name: 陳 果
  role: author
  orcid: https://orcid.org/0009-0004-9263-5616
  organization: 物質・材料研究機構
  department: 電子・光機能材料研究センター/機能材料分野/超ワイドギャップ半導体グループ
- name: 小泉 聡
  role: author
  orcid: https://orcid.org/0000-0003-4961-5658
  organization: 物質・材料研究機構
  department: 電子・光機能材料研究センター/機能材料分野/超ワイドギャップ半導体グループ
- name: 廖 梅勇
  role: author
  orcid: https://orcid.org/0000-0003-1361-4266
  organization: 物質・材料研究機構
  department: 電子・光機能材料研究センター/機能材料分野/超ワイドギャップ半導体グループ

## Contact agent



## Publisher

organization: 一般社団法人　ニューダイヤモンドフォーラム

## Managing organization



## Keyword

- subject: Diamond
  schema: not_defined
- subject: MEMS
  schema: not_defined

## Rights

- identifier: http://rightsstatements.org/vocab/InC/1.0/

## Other identifier(s)



## Data origin

- data_origin_type: other

## Embargo



## Journal



## Conference

name: 第３９回ダイヤモンドシンポジウム
start_date: 2025-11-12
end_date: 2025-11-14
identifier: https://jndf.org/katsudo/symposium/sympo-39th.html

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## Funding



## Instrument



## Instrument operator



## Instrument managing organization



## Measurement method



## Specimen



## Chemical composition



## Structure for specimen



## Structural feature for specimen



## Specific property for specimen



## Process for specimen treatment



## Computational method



## Energy level/transition state



## Software



## Custom property



## Fileset

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