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(abstract)

AESやXPSに代表される表面電子分光法における定量化は, 1982年のVAMAS プロジェクト TWA-2 SCAの設立と1991年のISO TC201SCAの設立が２つの大きな転換点といえる。前者では，個々人の定量研究から国際共同研究を通して，定量の信頼性や正確性・遡及性が議論された。その発展として，ISOを通しての「定量化の標準化」がなされてきた。この定量化と標準化（の一断面）を, XPSとAESにおける「感度係数法」の進展を通して考えてみたい。この２つのプロジェクトがなければ「表面定量」はあっても「表面定量の標準化」は無かったであろう。

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• Creative Commons BY-NC Attribution-NonCommercial 4.0 International
  

Keyword: 表面定量分析, 国際標準化, ISO, 標準化の歴史, 標準化の意味

Conference: 2023年JSCA国際標準化セミナー (2023-02-10)

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Manuscript type: Not a journal article

MDR DOI: https://doi.org/10.48505/nims.4195

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Updated at: 2025-04-10 21:54:34 +0900

Published on MDR: 2023-06-26 20:16:01 +0900