@article{俊秀,
  title = {ALD- （ZrO2）/（HfO2） ラミネートによる HfZrO2 強誘電体薄 膜の作製と電気特性},
  author = {生田目 俊秀, 澤田 朋実, 女屋 崇, 塚越 一仁},
  publisher = {Ceramic Society of Japan},
  year = {},
  keywords = {ALD, HfZrO2 ferroelectric, (ZrO2)/(HfO2) laminate, Orthorhombic phase}
}