@misc{unknown2023a, title = {水素センシングおよび物質への吸蔵現象の理論的解釈}, author = {矢ヶ部 太郎, 今村 岳, 吉川 元起, 宮内 直弥, 北島 正弘, 板倉 明子}, publisher = {日本表面真空学会}, year = {2023-02-10}, keywords = {hydrogen sensor, Membrane-type Surface stress Sensor, hydrogen absorption, 2-step reaction kinetic model} }