# InP/GaInAs多層膜のAES深さ方向分析のラウンドロビン試験報告（I）

https://mdr.nims.go.jp/datasets/b2949618-3c32-471b-aedd-c0959c48b46c

## File

- [Vol.1_No.3_374-387.pdf](https://mdr.nims.go.jp/filesets/e97be594-6e59-41bf-add8-e3c306537f43/download) ([Detail](https://mdr.nims.go.jp/filesets/e97be594-6e59-41bf-add8-e3c306537f43.md))

## Id

b2949618-3c32-471b-aedd-c0959c48b46c

## Local identifier



## Visibility

open_to_public

## State

published

## Created at

2021-08-05T16:24:16.578334Z

## Updated at

2022-10-02T16:55:14.326460Z

## Published at

2021-08-12T16:20:03.309503Z

## Doi

https://doi.org/10.48505/nims.3047

## First published url

http://www.sasj.jp/JSA/CONTENTS/vol.1_3/Vol.1%20No.3/Vol.1%20No.3%20374-387.pdf

## Date published

1995-11-16

## Recorded date published

16/11/1995

## Resource type

journal_article

## Manuscript type

authors_original

## Collection



## Title

- title: InP/GaInAs多層膜のAES深さ方向分析のラウンドロビン試験報告（I）
  title_type: original
  lang: en

## Description

- description: "AES深さ方向分析の標準化を進めるために，InP/GaInAs多層膜を用いたデプスプロファイル測定のラウンドロビン試験を行った．参加した２３機関の装置は３社に分類され，その仕様が異なるため，測定条件は電子線およびイオンの加速電圧を3kVに固定して，その他の条件は各機関に一任した．イオンスパッタリングにはスポットビームおよびそれをスキャンしたラスタービームの２種類を用いて，P
    LVV, In MNN のデプスプロファイルを取得した．その結果，スポットビームで測定した P LVV の深さ分解能は分析深さに依存せずほぼ一定であった．そして，各界面における深さ分解能は２３機関でよい一致が見られた．また，分析後の表面凹凸が小さい試料ほど深さ分解能は優れていた．しかし，深さ分解能とイオン電流密度，オージェ電子脱出深さとの関係についてはメーカーおよび装置別に一様な関係を見い出せなかった．この要因は，イオンスパッタリングによる表面あれおよびアトミックミキシングの大きさが測定条件および装置の仕様により異なるためと考えられる．\r\n"
  description_type: abstract
  lang: en

## Creator

- name: Ogiwara, Toshiya
  role: author
  orcid: https://orcid.org/0000-0002-7376-6571
- name: Tanuma, Shigeo
  role: author
  orcid: https://orcid.org/0000-0003-2628-9941

## Contact agent



## Publisher

organization: Surface Analysis Society of Japan

## Managing organization



## Keyword

- subject: Auger Depth Profiling Analysis
  schema: not_defined
- subject: InP/GaInAs Specimen
  schema: not_defined
- subject: Round Robin Test
  schema: not_defined

## Rights



## Other identifier(s)



## Data origin



## Embargo



## Journal



## Conference



## Related item



## Funding



## Instrument



## Instrument operator



## Instrument managing organization



## Measurement method



## Specimen



## Chemical composition



## Structure for specimen



## Structural feature for specimen



## Specific property for specimen



## Process for specimen treatment



## Computational method



## Energy level/transition state



## Software



## Custom property



## Fileset

- id: e97be594-6e59-41bf-add8-e3c306537f43
  filename: Vol.1_No.3_374-387.pdf
  content_type: application/pdf
  size: 923472
  md5: 7938dfeaeb66a66266b12c237619585e

## Thumbnail

fileset_id: e97be594-6e59-41bf-add8-e3c306537f43
filename: Vol.1_No.3_374-387.pdf