# PHPS 前駆体による低温焼塗布型シリカ膜の作製と応用

https://mdr.nims.go.jp/datasets/ae5e67cd-45da-426b-9f5b-b07a72476a2e

## File

- [原稿（三成）.docx](https://mdr.nims.go.jp/filesets/b3d5afbd-7809-42ce-b282-fae702ee95bd/download) ([Detail](https://mdr.nims.go.jp/filesets/b3d5afbd-7809-42ce-b282-fae702ee95bd.md))

## Id

ae5e67cd-45da-426b-9f5b-b07a72476a2e

## Local identifier



## Visibility

open_to_public

## State

published

## Created at

2026-04-28T04:02:00.390445Z

## Updated at

2026-04-28T23:30:04.788684Z

## Published at

2026-04-28T09:25:05.694372Z

## Doi

https://doi.org/10.48505/nims.6266

## First published url

https://www.gijutu.co.jp/doc/b_2317.htm

## Date published

2025-10-31

## Recorded date published



## Resource type

book

## Manuscript type

authors_original

## Collection



## Title

- title: PHPS 前駆体による低温焼塗布型シリカ膜の作製と応用
  title_type: original
  lang: ja

## Description

- description: 物質・材料研究機構のプリンテッドエレクトロニクスグループによって開発された、低温焼結塗布型シリカ（LCSS： Low-temperature
    Catalyzed Solution-processed SiO₂）を紹介する。LCSSは90 ºCという低温での焼成で成膜可能であり、プラスチックなどの熱変形しやすい基板上にも適用できる。我々はLCSS膜へのビアホール形成を可能とし、金属ナノ粒子インクの精密な印刷技術と組み合わせることで、三次元的な配線構造を構築可能とした。PHPSを前駆体としたLCSSの成膜技術に加え、実際のデバイス応用に向けた評価を通じて、その絶縁膜材料としての性能とプロセスの汎用性を検討した。さらに、さらに、LCSSをゲート絶縁膜、単層カーボンナノチューブ（SWCNT）を半導体としてオール印刷型TFTを形成した。この印刷TFTは1
    Vの低電圧で駆動可能であり、電界効果移動度は平均70 cm2 V-1 s-1と高い値を示した。本稿では、この印刷技術と組み合わせた多層配線形成や、低電圧駆動TFTへの適用可能性に焦点を当て、LCSSの絶縁膜材料としての汎用性について検討する。
  description_type: abstract
  lang: jpn

## Creator

- name: 三成 剛生
  role: author
  orcid: https://orcid.org/0000-0001-7690-221X
  organization: 物質・材料研究機構
  department: 高分子・バイオ材料研究センター/高分子材料分野/プリンテッドエレクトロニクスグループ
- name: 孫 晴晴
  role: author
  organization: Zhengzhou University

## Contact agent



## Publisher

organization: 技術情報協会

## Managing organization



## Keyword

- subject: プリンテッドエレクトロニクス
  schema: not_defined
- subject: ポリシラザン
  schema: not_defined

## Rights

- identifier: http://rightsstatements.org/vocab/InC/1.0/

## Other identifier(s)



## Data origin

- data_origin_type: other

## Embargo



## Journal

- title: 有機ケイ素化合物の合成、構造制御とその応用

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## Instrument



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## Instrument managing organization



## Measurement method



## Specimen



## Chemical composition



## Structure for specimen



## Structural feature for specimen



## Specific property for specimen



## Process for specimen treatment



## Computational method



## Energy level/transition state



## Software



## Custom property



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