# コンビナトリアルスパッタ成膜法によるMgSiSn系薄膜のナノ構造制御と熱電特性

https://mdr.nims.go.jp/datasets/9ef6dfa6-0a48-4def-98a6-8221d8be0a1e

## File

- [応物2023春（後藤）01092023.pdf](https://mdr.nims.go.jp/filesets/f59224ac-1b8a-4a92-a067-c2aa77793af2/download) ([Detail](https://mdr.nims.go.jp/filesets/f59224ac-1b8a-4a92-a067-c2aa77793af2.md))

## Id

9ef6dfa6-0a48-4def-98a6-8221d8be0a1e

## Local identifier



## Visibility

open_to_public

## State

published

## Created at

2024-12-12T02:42:23.192990Z

## Updated at

2024-12-13T03:30:41.951813Z

## Published at

2024-12-13T03:30:42.078717Z

## Doi

https://doi.org/10.48505/nims.5147

## First published url



## Date published



## Recorded date published



## Resource type

conference_presentation

## Manuscript type

na

## Collection



## Title

- title: コンビナトリアルスパッタ成膜法によるMgSiSn系薄膜のナノ構造制御と熱電特性
  title_type: original
  lang: ja
- title: Thermoelectric property of nanostructured Mg/Si/Sn thin films controlled
    by combinatorial sputter coating method
  title_type: alternative
  lang: en

## Description

- description: "多種多様な薄膜作製が可能な独自に開発したコンビナトリアルスパッタ法(COSCOS)\r\nを用いて、MgSiSn系薄膜のナノ構造制御を試みた。超格子構造からのアニールにより、複雑なナノ構造を創製することができた。その材料は、熱伝導率の低減、ゼーベック係数の増大が起こり、無次元性能指数(zT)が向上することが明らかとなった。今回の結果は、ナノ構造制御による熱電変換効率向上の可能性を示唆する。"
  description_type: abstract
  lang: jpn

## Creator

- name: 後藤 真宏
  role: author
  orcid: https://orcid.org/0000-0002-1003-2781
  organization: 物質・材料研究機構
  department: 国際ナノアーキテクトニクス研究拠点/ナノマテリアル分野/熱エネルギー変換材料グループ
- name: 佐々木 道子
  role: author
  orcid: https://orcid.org/0000-0002-2336-5788
  organization: 物質・材料研究機構
  department: 国際ナノアーキテクトニクス研究拠点/ナノマテリアル分野/熱エネルギー変換材料グループ

## Contact agent



## Publisher



## Managing organization



## Keyword

- subject: コンビナトリアルスパッタ
  schema: not_defined
- subject: ナノ構造
  schema: not_defined
- subject: 熱電
  schema: not_defined
- subject: 薄膜
  schema: not_defined

## Rights

- identifier: http://rightsstatements.org/vocab/InC/1.0/

## Other identifier(s)



## Data origin

- data_origin_type: other

## Embargo



## Journal



## Conference

name: 2023年第70回応用物理学会春季学術講演会
start_date: 2023-03-15
end_date: 2023-03-18
identifier: https://meeting.jsap.or.jp/archive/jsap2023s/

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## Funding

- identifier: JPMJCR21O2
  funder_name: JST CREST
- identifier: JPMJCR16Q5
  funder_name: JST CREST

## Instrument



## Instrument operator



## Instrument managing organization



## Measurement method



## Specimen



## Chemical composition



## Structure for specimen



## Structural feature for specimen



## Specific property for specimen



## Process for specimen treatment



## Computational method



## Energy level/transition state



## Software



## Custom property



## Fileset

- id: f59224ac-1b8a-4a92-a067-c2aa77793af2
  filename: 応物2023春（後藤）01092023.pdf
  content_type: application/pdf
  size: 250586
  md5: 392ee26997bccff4a83ad3aee7970fe0

## Thumbnail

fileset_id: f59224ac-1b8a-4a92-a067-c2aa77793af2
filename: 応物2023春（後藤）01092023.pdf