@misc{unknown-a,
  title = {コンビナトリアルスパッタ成膜法によるMgSiSn系薄膜のナノ構造制御と熱電特性},
  author = {後藤 真宏, 佐々木 道子},
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  year = {},
  keywords = {コンビナトリアルスパッタ, ナノ構造, 熱電, 薄膜}
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