@misc{unknown-a,
  title = {逆向型ラジカル源を用いた薄膜化技術に関する研究(平成3〜6年度 無機材質特別研究 1995 科学技術庁 無機材質研究所研究報告書第85号},
  author = {無機材質研究所},
  publisher = {無機材質研究所},
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