# 試料冷却法を併用したAES深さ方向分析によるSiO2/Si熱酸化膜の分析

https://mdr.nims.go.jp/datasets/589ec16b-9f42-4095-bc13-8c4ce62ef54b

## File

- [Vol.2_No.1_59-64.pdf](https://mdr.nims.go.jp/filesets/766e8fe6-dd21-4c10-8d17-c5579090013e/download) ([Detail](https://mdr.nims.go.jp/filesets/766e8fe6-dd21-4c10-8d17-c5579090013e.md))

## Id

589ec16b-9f42-4095-bc13-8c4ce62ef54b

## Local identifier



## Visibility

open_to_public

## State

published

## Created at

2021-08-05T16:24:16.342527Z

## Updated at

2022-10-02T16:39:59.281973Z

## Published at

2021-08-12T16:20:00.389026Z

## Doi

https://doi.org/10.48505/nims.3045

## First published url

http://www.sasj.jp/JSA/CONTENTS/vol.2_1/Vol.2%20No.1/Vol.2%20No.1%2059-64.pdf

## Date published

1996-02-08

## Recorded date published

08/02/1996

## Resource type

journal_article

## Manuscript type

authors_original

## Collection



## Title

- title: 試料冷却法を併用したAES深さ方向分析によるSiO2/Si熱酸化膜の分析
  title_type: original
  lang: en

## Description

- description: 試料冷却法を併用したAES深さ方向分析によるSiO2/Si熱酸化膜の分析について検討を行った．分析時の試料保持温度を常温および-190℃として，それぞれの温度について電子線電流密度を３段階に変えてデプスプロファイルを取得した．イオン加速電圧は3kVである．また，測定したオージェピークはSi
    LVV および O KLL である．その結果，常温における深さ分解能は電子線電流密度に依存し，高いほど低下した．一方，試料冷却法を併用した場合には，深さ分解能の値は
    3.8~5.8 nm であり，優れた深さ分解能で測定が可能であった．試料冷却法を併用したAES深さ方向分析は電子線照射によるダメージを抑制できる手法と考えられる．
  description_type: abstract
  lang: en

## Creator

- name: Ogiwara, Toshiya
  role: author
  orcid: https://orcid.org/0000-0002-7376-6571
- name: Tanuma, Shigeo
  role: author
  orcid: https://orcid.org/0000-0003-2628-9941

## Contact agent



## Publisher

organization: Surface Analysis Society of Japan

## Managing organization



## Keyword

- subject: Auger Depth Profiling Analysis
  schema: not_defined
- subject: SiO2/Si
  schema: not_defined
- subject: Sample Cooling Method
  schema: not_defined

## Rights



## Other identifier(s)



## Data origin



## Embargo



## Journal



## Conference



## Related item



## Funding



## Instrument



## Instrument operator



## Instrument managing organization



## Measurement method



## Specimen



## Chemical composition



## Structure for specimen



## Structural feature for specimen



## Specific property for specimen



## Process for specimen treatment



## Computational method



## Energy level/transition state



## Software



## Custom property



## Fileset

- id: 766e8fe6-dd21-4c10-8d17-c5579090013e
  filename: Vol.2_No.1_59-64.pdf
  content_type: application/pdf
  size: 222019
  md5: 0e76a7a67fc6a23f367c9c08f1e8d700

## Thumbnail

fileset_id: 766e8fe6-dd21-4c10-8d17-c5579090013e
filename: Vol.2_No.1_59-64.pdf