# ホウ素ドープダイヤモンド金属-酸化膜-半導体電界効果トランジスタ

https://mdr.nims.go.jp/datasets/4a9ef639-2202-448e-94bd-f16ef6615ab5

## File

- [152号G02ﾄﾋﾟｯｸｽ(劉 江偉様).docx](https://mdr.nims.go.jp/filesets/41532e82-1220-46e6-91c3-8ebb39803061/download) ([Detail](https://mdr.nims.go.jp/filesets/41532e82-1220-46e6-91c3-8ebb39803061.md))

## Id

4a9ef639-2202-448e-94bd-f16ef6615ab5

## Local identifier



## Visibility

open_to_public

## State

published

## Created at

2024-02-14T08:57:52.520568Z

## Updated at

2024-11-29T07:30:52.771112Z

## Published at

2024-11-29T07:30:54.072660Z

## Doi

https://doi.org/10.48505/nims.5048

## First published url

https://jndf.org/katsudo/kaishi/backnumber/kaishi-152.html

## Date published

2024-01-25

## Recorded date published



## Resource type

journal_article

## Manuscript type

authors_original

## Collection



## Title

- title: ホウ素ドープダイヤモンド金属-酸化膜-半導体電界効果トランジスタ
  title_type: original
  lang: ja

## Description

- description: ホウ素ドープダイヤモンド金属-酸化膜-半導体電界効果トランジスタ（MOSFET）を平坦なダイヤモンドエピタキシャル層上に作製した。500℃のアニール前後の電気特性からトランジスタ動作を確認した。ドレイン電流と相互コンダクタンスの最大値は、これまでに報告されたホウ素ドープダイヤモンドMOSFETの値を5～10倍上回り、最高性能を達成した。
  description_type: abstract
  lang: jpn

## Creator

- name: 劉 江偉
  role: author
  orcid: https://orcid.org/0000-0003-2580-7401
  organization: 物質・材料研究機構
  department: 電子・光機能材料研究センター/機能材料分野/次世代半導体グループ
  ror: https://ror.org/026v1ze26
- name: 寺地 徳之
  role: author
  orcid: https://orcid.org/0000-0002-7731-0547
  organization: 物質・材料研究機構
  department: 電子・光機能材料研究センター/光学材料分野/半導体欠陥制御グループ
  ror: https://ror.org/026v1ze26
- name: 達 博
  role: author
  orcid: https://orcid.org/0000-0002-0785-8662
  organization: 物質・材料研究機構
  department: マテリアル基盤研究センター/先端解析分野/量子ビーム回折グループ
  ror: https://ror.org/026v1ze26
- name: 小出 康夫
  role: author
  orcid: https://orcid.org/0000-0001-8321-9822
  organization: 物質・材料研究機構
  department: 電子・光機能材料研究センター
  ror: https://ror.org/026v1ze26

## Contact agent



## Publisher

organization: 一般社団法人　ニューダイヤモンドフィーラム

## Managing organization



## Keyword

- subject: Boron-doped diamond
  schema: not_defined

## Rights

- identifier: http://rightsstatements.org/vocab/InC/1.0/

## Other identifier(s)



## Data origin

- data_origin_type: other

## Embargo



## Journal

- title: NEW DIAMOND 誌
  issn: '13404792'
  volume: '40'
  issue: '1'
  start_page: 19
  end_page: 21

## Conference



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## Funding



## Instrument



## Instrument operator



## Instrument managing organization



## Measurement method



## Specimen



## Chemical composition



## Structure for specimen



## Structural feature for specimen



## Specific property for specimen



## Process for specimen treatment



## Computational method



## Energy level/transition state



## Software



## Custom property



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