# Arイオンスパッタリングされた各種化合物半導体表面のSEM観察

https://mdr.nims.go.jp/datasets/3e560e32-fb97-4ef6-8c6c-e0cb93a754b0

## File

- [JSA_Vol.1_No.1_36-42.pdf](https://mdr.nims.go.jp/filesets/db653add-8c37-4e98-9a05-6cb1be7963d9/download) ([Detail](https://mdr.nims.go.jp/filesets/db653add-8c37-4e98-9a05-6cb1be7963d9.md))

## Id

3e560e32-fb97-4ef6-8c6c-e0cb93a754b0

## Local identifier



## Visibility

open_to_public

## State

published

## Created at

2021-08-05T16:24:14.625366Z

## Updated at

2022-10-02T16:31:38.316352Z

## Published at

2021-08-12T16:19:59.535961Z

## Doi

https://doi.org/10.48505/nims.3040

## First published url

http://www.sasj.jp/JSA/CONTENTS/vol.1_1/Vol.1%20No.1/Vol.1%20No.1%2036-42.pdf

## Date published

1995-03-08

## Recorded date published

08/03/1995

## Resource type

journal_article

## Manuscript type

authors_original

## Collection



## Title

- title: Arイオンスパッタリングされた各種化合物半導体表面のSEM観察
  title_type: original
  lang: en

## Description

- description: 各種化合物半導体の表面をArイオンでスパッタリングして，その表面のSEM観察を行なった．そして，イオンスパッタリング時の試料温度および試料回転の有無と表面形状の関係を系統的に調べた．その結果，表面あれはスパッタリングされた表面全体に生成する場合とコーン状の突起物がランダムに生成する場合の大きく２種類に分類できることが明らかになった．また，表面あれはイオンスパッタリング時に試料回転を行うことで，全ての化合物半導体においてその生成が著しく抑制された．また，試料温度は表面の形状を大きく左右した．これは，スパッタリング後の原子再配列の温度依存性が大きいためと考えられる．
  description_type: abstract
  lang: en

## Creator

- name: Ogiwara, Toshiya
  role: author
  orcid: https://orcid.org/0000-0002-7376-6571
- name: Tanuma, Shigeo
  role: author
  orcid: https://orcid.org/0000-0003-2628-9941

## Contact agent



## Publisher

organization: Surface Analysis Society of Japan

## Managing organization



## Keyword

- subject: argon ion sputtering
  schema: not_defined
- subject: compound semiconductor
  schema: not_defined
- subject: surface observation using a scanning electron microscope
  schema: not_defined

## Rights



## Other identifier(s)



## Data origin



## Embargo



## Journal



## Conference



## Related item



## Funding



## Instrument



## Instrument operator



## Instrument managing organization



## Measurement method



## Specimen



## Chemical composition



## Structure for specimen



## Structural feature for specimen



## Specific property for specimen



## Process for specimen treatment



## Computational method



## Energy level/transition state



## Software



## Custom property



## Fileset

- id: db653add-8c37-4e98-9a05-6cb1be7963d9
  filename: JSA_Vol.1_No.1_36-42.pdf
  content_type: application/pdf
  size: 565339
  md5: 5db129efd95d36fdd826039339fd29fe

## Thumbnail

fileset_id: db653add-8c37-4e98-9a05-6cb1be7963d9
filename: JSA_Vol.1_No.1_36-42.pdf