# 結晶の異方性を利用した酸化ガリウム半導体の微細加工技術

https://mdr.nims.go.jp/datasets/3d2f2535-9b89-4fb5-9826-cbee425e7635

## File

- [車テク202411-13 結晶の異方性を利用した酸化ガリウム半導体の微細加工技術.pdf](https://mdr.nims.go.jp/filesets/a580d486-9daf-4362-abe5-1a56262d7543/download) ([Detail](https://mdr.nims.go.jp/filesets/a580d486-9daf-4362-abe5-1a56262d7543.md))

## Id

3d2f2535-9b89-4fb5-9826-cbee425e7635

## Local identifier



## Visibility

open_to_public

## State

published

## Created at

2024-12-02T02:55:29.413741Z

## Updated at

2024-12-04T23:30:36.249317Z

## Published at

2024-12-04T23:30:36.473851Z

## Doi



## First published url

https://www.gijutu.co.jp/doc/magazine/at_2024_11.htm

## Date published

2024-11-30

## Recorded date published



## Resource type

report

## Manuscript type

vor

## Collection



## Title

- title: 結晶の異方性を利用した酸化ガリウム半導体の微細加工技術
  title_type: original
  lang: ja

## Description

- description: 結晶の異方性を利用した酸化ガリウム半導体の微細加工技術について解説する。
  description_type: abstract
  lang: jpn

## Creator

- name: 大島 孝仁
  role: author
  orcid: https://orcid.org/0000-0001-8550-9735
  organization: 物質・材料研究機構
  department: 電子・光機能材料研究センター/機能材料分野/超ワイドギャップ半導体グループ
  ror: https://ror.org/026v1ze26

## Contact agent



## Publisher

organization: 技術情報協会

## Managing organization



## Keyword

- subject: 酸化ガリウム
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- subject: 微細加工
  schema: not_defined
- subject: 選択成長
  schema: not_defined
- subject: 選択ガスエッチング
  schema: not_defined

## Rights

- identifier: http://rightsstatements.org/vocab/InC/1.0/

## Other identifier(s)



## Data origin

- data_origin_type: other

## Embargo



## Journal

- title: 車載テクノロジー
  volume: '12'
  issue: '2'
  start_page: 68
  end_page: 72

## Conference



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## Instrument



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## Measurement method



## Specimen



## Chemical composition



## Structure for specimen



## Structural feature for specimen



## Specific property for specimen



## Process for specimen treatment



## Computational method



## Energy level/transition state



## Software



## Custom property



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