# 界⾯ナノ構造の制御による接合と分離の両⽴にむけて

https://mdr.nims.go.jp/datasets/0af4b572-7e4c-430a-8dea-5307f53354f4

## Files

- [seimitsu.pdf](https://mdr.nims.go.jp/filesets/8e1689c6-f7ed-4bf9-a5e9-fcb868f85507/download) ([Detail](https://mdr.nims.go.jp/filesets/8e1689c6-f7ed-4bf9-a5e9-fcb868f85507.md))

## Id

0af4b572-7e4c-430a-8dea-5307f53354f4

## Local identifier



## Visibility

open_to_public

## State

published

## Created at

2026-01-20T01:19:28.915668Z

## Updated at

2026-01-20T08:17:29.104814Z

## Published at

2026-01-20T23:21:30.786129Z

## Doi

https://doi.org/10.48505/nims.6155

## First published url



## Date published



## Recorded date published



## Resource type

conference_presentation

## Manuscript type

na

## Collection



## Title

- title: 界⾯ナノ構造の制御による接合と分離の両⽴にむけて
  title_type: original
  lang: ja

## Description

- description: 超微細化と異種信号混載が進む半導体デバイス積層・実装において，界面の原子レベルでの物理的・化学的構造制御がシステム全体の機能に大きな影響を及ぼす様になってきた．本講演では，異種信号基板間に接合性を発現させ，かつ材料寿命に応じたリプレーサビリティを確保するための新しいナノ構造制御手法について，その要素技術開発と実用事例を解説した．
  description_type: abstract
  lang: jpn

## Creator

- name: 重藤 暁津
  role: author
  orcid: https://orcid.org/0000-0001-7054-3674
  organization: 物質・材料研究機構
  department: ナノアーキテクトニクス材料研究センター/半導体材料分野/スマートインターフェイスチーム

## Contact agent



## Publisher



## Managing organization



## Keyword

- subject: 接合
  schema: not_defined
- subject: 分離
  schema: not_defined
- subject: エレクトロニクス実装
  schema: not_defined

## Rights

- identifier: http://rightsstatements.org/vocab/InC/1.0/

## Other identifier(s)



## Data origin



## Embargo



## Journal



## Conference

name: 公益社団法人 精密工学会 生産原論専門委員会 令和７年度第２回研究会
start_date: 2025-08-22
end_date: 2025-08-22
identifier: https://spe-lab.mech.saitama-u.ac.jp/principle/pm-index.html

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## Funding



## Instrument



## Instrument operator



## Instrument managing organization



## Measurement method



## Specimen



## Chemical composition



## Structure for specimen



## Structural feature for specimen



## Specific property for specimen



## Process for specimen treatment



## Computational method



## Energy level/transition state



## Software



## Custom property



## Fileset

- id: 8e1689c6-f7ed-4bf9-a5e9-fcb868f85507
  filename: seimitsu.pdf
  content_type: application/pdf
  size: 3367689
  md5: 2bc270c15c691c5ad63dd6c4846e4d71

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