逆向型ラジカル源を用いた薄膜化技術に関する研究(平成3〜6年度 無機材質特別研究 1995 科学技術庁 無機材質研究所研究報告書第85号

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• 無機材質研究所研究報告書

DOI

• https://doi.org/10.11503/NIRIM0085

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  無機材質研究所

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• Report

Publisher

• 無機材質研究所

Date published

• 13/11/1995

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• In Copyright

Journal

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  1

Language

• Japanese

Last modified

• 18/06/2020

Other Date

• Published

  13/11/1995

Identifier

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  hdl:20.500.11932/577340

  doi

  doi:10.11503/NIRIM0085

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