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AE 波形連続計測によるプロセス条件最適化の加速

MDR Open Deposited

AE法による微視損傷の検出は、材料試験や構造物ヘルスモニタリングだけでなく、それらの製造時や加工時のプロセスモニタリングでも利用できる。AE計測は大型部材や複雑形状でも適用しやすく、微視損傷の発生タイミングだけでなく位置情報も得られるため、プロセスの問題点を把握するために有用である。
ただし、プロセス中はノイズレベルが高く、不安定であることも多いため、事前に設定した固定のノイズフィルタやしきい値電圧ではAE事象の検出が困難であることも多い。そのため、連続波形を記録してノイズや信号の状況を把握してから解析を修正できる方法を採ることで、プロセスモニタリングの確度を高めることができる。
最終的に、正常時にはAEが検出されず、異常時には大振幅のAE事象が多数検出されるような明確な違いのある計測を実現することで、検査コストを大幅に下げ、迅速にプロセス条件の最適化を進めることができる。

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  • 01/06/2024
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